方法1.3粒子(束)与的相互作用素材.ppt

§3.1 电子束与材料的相互作用 §3.2 离子束与材料的相互作用 §3.1 电子束与材料的相互作用 1.弹性散射 2.非弹性散射 3. 散射截面 4．电子吸收 3.1.2 电子与固体作用产生的信号 3.1.3 电子激发产生的其它现象 §3.2 离子束与材料的相互作用 3.2.2 溅射与二次离子 本 章 结 束 * * 返回总目录 在材料现代分析方法中，电子束是一种常用的入射激发源之一。入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体时与固体中粒子相互作用，它包括： 入射电子的散射 ? 入射电子对固体的激发 ? 受激发粒子在固体种的传播 电子散射源于库仑相互作用，它不同于光子在固体种的散射。 散射——入射电子照射固体时将与固体中的电子、原子核等作用而产生的现象。与辐射的散射一样，电子散射同样有弹性和非弹性散射之分。 3.1.1 散 射 设原子的质量为M ，质量数（质子数与中子数之和）为A，碰撞前原子处于静止状态。电子质量与原子质量的比值为me/M=1/1836A. 根据动量和能量守恒定理，入射电子与原子（核）碰撞后的最大能量损失可表示为