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上一页 回首页 下一页 回末页 回目录 第六章 激光在精密测量中的应用 §6.1 激光干涉测长 * §1.7 光的相干性 第一章 辐射理论概要 上一页 回首页 下一页 回末页 第一章 回目录 6.1.1 干涉测长的基本原理 1. 激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪,如图6-1示,用干涉条纹来反映被测量的信息。两束光的光程差可以表示为 2.被测长度与干涉条纹变化的次数和干涉仪所用光源波长之间的关系是 图6-1 激光干涉测长仪的原理图 3.从测量方程出发可以对激光干涉测长系统进行基本误差分析 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 1. 除了迈克尔逊干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源，可移动平台，光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。 2.迈克尔逊干涉仪是激光干涉测长系统的核心部分，其分光器件、反射器件和总体布局有若干可能的选择。 3.干涉仪的分光器件原理可以分为分波阵面法、分振幅法和分偏振法。 分振幅平行平板分光器和立方棱镜分光器 偏振分光器(参见图6-6中的B2)以及由晶轴正交的偏光棱镜组成如沃拉斯顿棱镜。 4.干涉仪中常用的反射器件:平面反射器、角锥棱镜反射器（图6-2a）、直角棱镜反射器（图6-2b）、猫眼反射器（图6-2c） 图6-2 反射器 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 5.激光干涉仪的典型光路布局有使用角锥棱镜反射器的光路布局，如图6