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◆测量系统的变动要素（１） ?测量器偏差（位置变动）① 　　　?偏差 　　　　?测量值的　　　值和　　　值的差。 　　　?稳定性 　　　　?同一个测量者留出一定　　　间隔使用同样的测量器测试同一产品的同一特性时测量值的平均值差。 　　　　　 　　　 　也可以说是（　　　）。 　　　值 测量值 的分布 测量值 的　　　. 偏差 　　　　　的 分布中心 稳定性 　　　　　的 分布中心 问题 ◆测量系统的变动要素（１） ?测量器偏差（位置的变动）① 　　　?偏差 　　　　?测量值的平均值和基准值的差。 　　　?稳定性 　　　　?同一个测量者留出一定时间间隔使用同样的测量器测试同一产品的同一特性时测量值的平均值差。 　　　　　 　　　 　也可以说是位移（drift）。 基准值 测量值 的分布 测量值 的平均.　　　 偏差 時间t1的 分布中心 稳定性 時间t2的 分布中心 解答 ◆测量系统的变动要素（２） ?测量器偏差（位置的变动）② 　　?直线性 　　　?涵盖了测量器使用（测量）范围整体的 　　　　 偏差变化。 基准线 测量值 直线性 测量范围 偏差 （正确性） 测量数据偏差 反复性 测量器 引起的偏差 测量者（测量器） 引起的偏差 产品偏差 再现性 稳定性 直线性 （线形性） 测量偏差 群间 偏差 群内 偏差 ◆测量数据的偏差系统图 晶片内 lot内 　　　　　lot间