静电对策实施手册2精选.doc

页数14/59 3.8作业台、货架的导电胶皮垫子、导电地板等的电阻值测定 为进行静电对策、保护人体，需要管理的适当值。 新设备以及变更时，定期检查时要按下面的方法来实施 未确保ESD对策基准的适用（IEC61340 、4-1 、5-1、5-2），半导体设备的耐性低下，人体的安全性，需要变更测定基准；而且以以前的500V的基准来测电阻，的确是无法测出导电胶皮垫子是异常的。所以一定要改正。 3.8.1以国际规格 IEC61340 4-1、5-1、5-2为基准的方法 a)使用测定器 是一种电阻值未达到1×106Ω的场合，印加10[V]就可测出来的 是一种电阻值未达到1×106Ω的场合，印加10[V]就可测出来的 代表例 .表面电阻计 Suface Resistance Test Kit 3.8.2继续使用一部分旧基准的测定器具 有效利用旧的测定器得出误差很少的测定结果 a)使用测定器 代表例 .电阻计 印加电压是125[V]的绝缘电阻计 制造公司 YOKOKAWA 专用电极 型号 MY-40 JIS标准条件的电极 （2Kg φ60mm）