RIE儀器使用流程.docVIP

下载本文档

7
0
约1.09千字
约 5页
2016-12-10 发布于天津
举报
版权申诉

RIE儀器使用流程.doc

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

RIE儀器使用流程

北科RIE儀器使用流程步驟過程說明備註一、檢查儀器狀態 1 使用前檢查打開RIE電源開關 2 打開真空馬達電源開關 3 逆時針打開四氟CF4、氬氣Ar、氧氣O2氣瓶旋鈕 4 調整四氟甲烷CF4 、氬氣Ar、氧氣O2 氣瓶輸出之氣壓錶到40 Psi 5 打開冷卻水機開關 7 調整四氟甲烷CF4 、氬氣Ar、氧氣O2 之氣壓錶到30 Psi 調整氮氣N2氣壓錶到15 Psi 註:位置1.逆時針開，位置2.順時針開二、開始使用 8 開電源打開RIE機箱面板開關 9 破真空 1.破真空閥開關到ON位置 2.真空計達到760Torr1atm以上 3.再破真空閥開關到OFF位置 10 放試片開啟Chamber上蓋放入試片上Chamber上蓋 11開馬達將真空馬達開關向上扳 12 抽真空、開閥門將閥逆時針打開三、參數設定 13 設定氣體流量將位置1.註:不提供SCHF3 14 開啟氣體閥門開關位置GAS ON位置2. 開關扳到FLOW位置1.四、蝕刻程序 15 設定功率依照參照蝕刻參數表設定RF POWER參數按面板調整到所需的功率位置1. 16 開氣閥開關向上閥ON位置位置1. 鬆緊來調整真空度這項參數 17 開始蝕刻按RF ON開始蝕刻五、使用結束 18 蝕刻過程結束按RF OFF蝕刻 19 關閉氣體閥門位置位置2STANDBY 3. 將MFC開關還要繼續蝕刻，只要執行1、2即可 20 潔淨腔體 1.向上扳潔淨閥開關到ON位置位置1. 2.等到5~10分鐘後，再扳到OFF位置閥門將閥時針 22 破真空 1.向上扳破真空閥開關到ON位置 2.看真空計達到760Torr1atm以上 3.再向下扳破真空閥開關到OFF位置 2取試片開啟Chamber上蓋 25 抽真空將Chamber抽到真空度以下再將閥順時針關閉 25關馬達將真空馬達開關向下扳 26 關電源關RIE機箱面板開關 27 關氣體管路順時針關閉氣體管路位置1. 註:28 關水箱關冷卻水機開關 29 關氣瓶四氟甲烷CF4、氬氣Ar、氧氣O2氣瓶 30 關電源關真空馬達電源開關關RIE電源開關ON OFF OFF ON位置2. 位置1.位置1.位置2. 位置1. 位置1. 位置2. 位置1. 位置1. 位置1. 位置1. ON OFFON OFFON OFF位置1.