ESD对策.doc

ESD對策 LCD生産工程中的靜電 Rubbing時的基板 -2~20kv Rubbing roller +1.2kv 偏光板貼附時的基板 +10~20kv seal印刷時的基板 -2~20kv 風刀乾燥後的基板 -4~6kv spacer撒佈後的基板 -1~2kv 組合後的基板 -2~4kv 露光後的基板 -15~30kv 電測檢查後的基板 -9kv C1 C3 C2 C2 [注]測定前的表面電位：Vm 測定後的表面電位：Vm 靜電對策的流程圖 產生靜電的動作 所得靜電之電壓大小 10~20% RH 65~80%RH 在地毯上行走 35,000V 1,500V 在塑膠上行走 12,000V 250V 工作櫃旁的動作 6,000V 100V 塑膠袋文件的抽出 7,000V 600V 從櫃面拿塑膠袋 20,000V 1,200V 注：此表係取材自美國專業靜電消除產品之型錄 基本對策 關於除靜電之效果在Ionizer ON與OFF前後比較; 部分仍是半導體之參考資料，其中作業性相關的部分亦值得注意。不要光在設備上、材料上動腦筋，忽略了作業部分的器具與人員動作。 而每個制程的靜電產生是可以區分等級出來，但仍要提醒各位的是異物吸引與帶電量大小相關，而元件傷害是要放電發生時才會造成。除靜電器的目的則是希望克服兩項之可能。 容易被忽略的部分在之前皆有提及，這裡再做整理： 電檢工程的帶電。 設備如stage、對位pin、Robot Arm等之殘留、累積帶電。 治具如Roller、PI版、配向布、網版、放置盒、Buffer Cassette、Cassette等之殘留、累積帶電。 無塵室作業帶電如桌椅帶電、氣流帶電、清潔帶電等。 濕度對策亦極有效，唯一考量點是濕度過大會對設備造成傷害。 設計及制程對策 a.玻璃基板和基板有無Sensor間的放電： 基板電位 -3kv -3kv 基板sensor間距離 遠 近 放電 無 有 ※-3kv也有放電和不放電的情況 b.面取面板間的放電 剝離後的基板放電 -1kv -1kv 搬送中的面板間電位差 4kv 4kv 面板間距離 長 短 放電 無 有 由上圖示知當量測器放至基板上時反易是放電之起源，慎選靜電量測器及檢測距離及位置是確保靜電管理之要點。 設計言，當面板面積邊大或面板間spacer過小，相關連的靜電問題會變嚴重。 制程言，亦有上示觀念，兩基板在流動時，特別是在conveyor上，關聯靜電之產生及相互影響必須控制。其又與加快流品速度減少作業時間相衝突。事實上許多靜電對策就是要減慢速度作業，其與量產性之時間考量是一種點折衷處。 用