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异质结双极晶体管(HBT) 双极晶体管的简介 双极晶体管是是电子和空穴两种载流子参与导电过程的半导体器件．两个p-n结形成了发射区E、基区B和集电区C，结构类型有p-n-p型和n-p-n型．实际应用电路中晶体管有3种连接方法：共基极、共发射极和共集电极， 如图１所示，3种连接方法中，发射结均为正偏置，集电结均为负偏置．以正偏 　 图 1 n-p-n晶体管三种组态 n-p-n晶体管的共基极组态为例.发射区电子注入p型基区，空穴从p型基区向n型发射区注入。由于集电结处于反偏置，当基区宽度较窄时，注入到基区的电子将被集电结强电场扫过集电结耗尽区，形成集电极电流．如果大部分从发射区注入到基区的电子在输运过程中未被复合掉而到达集电极，那么集电极电流就接近发射极空穴电流.由于反偏的集电结具有大的反向电阻，因而器件具有电压和功率放大作用。考虑共发射极组态，电流增益（）受发射效率 和基区输运因子的影响．忽略ＥＢ结界面复合电流，则近似为１．为到达集电结电流与注入基区电流的比，反映了电子于基区和ＢＣ结界面区的复合损失情况，损失越小，越接近１．所以理想情况下，，又，故很小，从而电流增益可达到很大，从而起到电流及功率放大作用． 异质结双极晶体管的材料结构 HBT的材料结构为较为成熟的Ｎ－ｐ－ｎ型，与同质双极晶体管n－ｐ－ｎ型比较，“N”表示发射区为n型宽禁带材料．图２表示ｎ－ｐ－n同质结和N－ｐ 图２　（ａ）同质结双极晶体管　（ｂ）异质结双极晶体管 －ｎ异质结双极晶体管的能带图。图３表示其掺杂分布图．由上图不难看出，同质结双极晶体管和异质结双极晶体管在能带结构上存在着差异，在掺杂分布上也存在着差异．同质结双极晶体管的发射区和基区有相同禁带宽度，即△Ｅ=0，而HBT中△E不等于零；在掺杂分布上，前者的发射区为高掺杂，而HBT的发射区掺杂浓度要低；前者的基区掺杂浓度要低于HBT基区的掺杂浓度．这些材料参数上的变化所引起的性能变化将在下面分析。 图３　(B)Ｓi同质结双极晶体管掺杂分布　(b)ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓ异质结双极晶体管的掺杂分布 异质结双极晶体管的特性（缓变模型） 以ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ＧａＡｓ单异质结双极晶体管(N－p－n型)例，若EB结发射区一侧ｘ缓变，可得到平滑而连续的能带结构，消除了图２(b)能带图上的“尖峰”，得到了所谓渐变异质结．这时可采用与同质结相似的扩散模型分析载流子输运过程． EB结在正偏置下，宽禁带N发射区向窄禁带的ｐ基区注入电子，p型GaAs基区向N发射区注入空穴．电子流与空穴流之比称为注入比如果满足：(1)异质结空间电荷区以外区是电中性；(2)载流子浓度可用玻尔兹曼统计来近似；(3)在小注人情况下(注入少子的浓度比多子少得多)；(4)EB结空间电荷区及外表面无复合产生，可得到在平衡状态时和正向偏置下发射区和基区的电子、空穴浓度．然后求解稳态电流连续方程，可以得到从发射区向基区注入的电子流和从基区向发射区注入的空穴流． 电子和空穴的扩散电流为： 　　　　　　　　　　　　（１） 　　　　　　　　　　　　（２） 由(1)式和(2)式可以得到发射结的注入比为： 　　　　　　　　　（３） 本征载流子浓度与材料的禁带宽度有关，即 　　　　　　　　　　（４） 代入（３）可得 　　　　　　　　　（５） 所以注入比 　　　　　　　　　　　　　（６） 　　显然，异质结双极晶体管的注入比与发射区和基区的禁带宽度差△E呈指数关系，这样人们就可以从能带结构来设计异质结双极晶体管．由于△E对注入比的影响远大于发射区与基区的掺杂浓度比对它的影响，这样就可降低发射区掺杂浓度来减小发射结电容．同时，提高基区浓度，降低基区电阻，来改善器件的频率、噪声等性能。异质结构中带隙差对提高注人比起决定性作用。△E对注入比的大幅度提高给我们创造了重新调整NＤ、ＮＡ的条件．当然要保证有足够大的注入比，减少体内和表面的复合也是很重要的 异质结双极晶体管的制作工艺要点量述 图４给出了台面结构的异质结双极晶体管芯剖面示意图。以单 图４　采用自对准技术制作的ＨＢＴ剖面图 异质结ＨＢＴ为例，发射区和集电区的接触区均为高掺杂的n＋型GaAs，其欧姆 接触金属采用Au－Ge－Ni，基区为P＋－GaAs，选用Au－Zn作欧姆接触。如果不考虑小尺寸的要求，制作工艺上的难点集中在以下几方面：(1)对发射区台面的腐蚀要求有准确的精度控制．因为基区的厚度是有限的，过腐蚀会造成欧姆接触金属做到收集区上。若剩余基区厚度太薄，在金属化的过程中有可能与集电区连通．造成B，C短路。因此，发射区台面腐蚀终点要准确控制。发射区是AｌGaAs，Aｌ的含量0．3(高Al会产生复合中心)，通常采用的 Ｈ３PO4或NH４OH系列腐蚀液对GaAs腐蚀的选择性并不强。而A1GalnP／GaAs HBT