第一章 扫描电子显微镜.ppt

材料分析方法 材料牛人 王中林 第一章 扫描电子显微镜 引言 扫描电镜结构原理 扫描电镜图象及衬度 扫描电镜结果分析示例 扫描电镜的主要特点 1.1扫描电镜结构原理 1. 扫描电镜的工作原理及特点 扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似。 1.2.电子与固体试样的交互作用 电子束与固体样品作用是产生的信号 背散射电子 二次电子 吸收电子 透射电子 特征X射线 俄歇电子 扫描电镜图象及衬度 1.4 表面形貌衬度原理及其应用 　　入射电子与样品相互作用后，使样品原子较外层电子（价带或导带电子）电离产生的电子，称二次电子。二次电子能量比较低，习惯上把能量小于50eV电子统称为二次电子，仅在样品表面5nm－10nm的深度内才能逸出表面，这是二次电子分辨率高的重要原因之一。 1．二次电子象 　　二次电子象是表面形貌衬度，它是利用对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为调节信号得到的一种象衬度。因为二次电子信号主要来处样品表层5－10nm的深度范围，它的强度与原子序数没有明确的关系，便对微区表面相对于入射电子束的方向却十分敏感，二次电子像分辨率比较高，所以适用于显示形貌衬度。 　　凸凹不平的样品表面所产生的二次电子，用二次电子探测器很容易全部被收集，所以二次电子图像无阴影效应，二次电子易受样品电场和磁场影响。二次电子的产额δ∝ K/cosθ 　　K为常数，θ为入射电子与样品表面法线之