传 感 器 原 理 第 1 章 绪 论 传感器的定义及其作用 传感器的组成和分类 传感器的发展 一、传感器的定义 二、作用与地位 三、传感器的组成与分类 传感器的分类 按被测量分类: 力、位移、速度、加速度、压力、浓度、温度等 按测量原理(被调制量)分类: 变电阻、变磁阻、变电容、变谐振频率、变电荷等 按工作效应分类: 物理传感器、化学传感器、生物传感器。 四、传感器的发展基础 发展的动力: 1)原始需求:测量、显示、记录的发展。 举例:杆秤、电子秤; 2)信息需求(量大、准确、快速、可靠)举例:航天飞机使用2000多个传感器;极限参数测量(如超高、低温等)。 发展基础:材料科学、微电子、计算机、机械加工等。 五、传感器的发展历程 早期以测量物理量为主的传感器,大都是利用机械结构的位移或变形来完成非电量到电量的变换,称为结构型传感器。 随着各种半导体材料和有机高分子功能材料的发展,研制出的以物理效应为基础的传感器称为物性传感器。 近年来,微电子技术和微处理机技术进入传感器领域后出现了智能传感器 六、传感器的发展趋势 传感器固态化、小型化 开发新材料:半导体敏感材料、陶瓷材料、磁性材料等。 采用新工艺:集成技术、微细加工技术、离子注入技术、薄膜技术 传感器的智能化 灵巧(Smart)传感器,具有:检测、修正、数据处理、逻辑判断、自诊断和自适应能力的集成一体化多功能传感器。 传感
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