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传统的结构光栅是通过在玻璃板上蚀刻的双线阵产生摩尔效应,形成黑白间隔的结构光栅。不同的叠加角度形成不同间距的结构光栅。但结构光栅宽度不可调。 玻璃板由陶瓷压电马达(PZT)驱动。形成相位变化 传统的摩尔纹原理 TOPONE-I采用可编程的光闸成像方式(PSLM),实现了对结构光栅的软件调制及控制。 直接形成黑白间隔的结构光栅,通过软件调制及控制。大大增强了对不同精度要求的适应力。 没有机械部件,大大减少了设备的故障几率,降低维修成本。 可编程结构光栅原理 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 150 150 0 150 140 0 0 0 0 0 0 150 150 160 160 150 150 130 0 0 0 140 150 160 170 160 160 150 140 0 0 130 140 160 170 170 160 160 150 140 0 0 0 150 160 170 180 170 150 150 130 0 0 0 150 160 170 180 180 160 150 140 0 0 0 140 150 160 170 170 160 140 0 0 0 130 140 150 160 160 160 150 0 0 0 0 0 130 140 150 140 140 140 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 体积的定义方法: 测量范围 每个像素的高度值 通过测量每一个像素范围内的高度值,再乘以每个像素的表面积,对测量范围内的所有高度值进行累计加法,并就可以得到非常精确的体积。 体积定义原理 PMP相位调制轮廓测量技术原理 结构光栅成像原理 检测精度 Inspection Resolution 白光PMP 激光Laser 结构光栅和激光的精度分析 检测精度 Inspection Resolution 白光相位调制轮廓测量技术(PLSM PMP), 采用正弦光栅投影,采用8Bit的分辨率,将每个相位分为256阶,其最被测物体的分辨率可以达到0.37um. Laser 的宽度一般为40um, 而锡膏标准4号粉的锡球直径是在25um左右,Laser光栅宽度已经大于1个锡球直径,完全无法分辨出是哪一个锡球的高度。Laser光栅所提供的检测信号是方波如下(0或1) 40um 结构光栅和激光的精度分析 PCB的颜色 PCB Color Variation Laser扫描方式对PCB的颜色有苛刻的要求,如绿色,黑色,蓝色,黄色PCB在Laser扫描后得到的是暗黑色图像,而红色则显示为亮白色图像. 对于亮度反差较大的基板,Laser基本上是无法处理的。 结构光栅和激光的精度分析 PCB的颜色 PCB Color Variation T-2010a的白光LED光源通过不同的曝光时间和全新的影像合成技术可以完全避免PCB板的色差对检测的影响。 特别是对于对比度较大的陶瓷基板等的处理能力是目前所有的SPI所不具备的。 结构光栅和激光的精度分析 Laser扫描检测方式的精度完全取决于激光束的移动精度,Laser设备必须保证非常稳定的传动速度和平稳度。对马达,丝杆,外部振动等要求极为苛刻。 Laser不得不在检测精度和检测速度之间作出选择,对于极小元器件,如0201;01005,0.4mm的CSP,Connectors等,Laser必须降低检测速度以便保持精度。 扫描式 外部振动或马达不稳定造成检测失败 步进式和扫描式的精度分析 Stop Inspection II II II Stop Inspection Stop Inspection 步进式采用静止拍照的方式,不受传动的精度和振动的影响,并可以保证高速下的高精度检测。 步进式和扫描式的精度分析 Gerber Conversion 自动Gerber转换 PEdit – FOV Scan Job的编制 PEdit—FOV Scan 自动路径优化 UI Run界面 User Interface UI Run界面 实时监控的运行界面 UI – Defect View 完善的数据分析 SPC – List View 强大的S
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