4-1.纳米电子信息材料分析.pptVIP

以磁场来改变电子的运动方向，并束缚和延长电子的运动轨迹，使电子或离子运动轨迹变成类螺旋运动，增加放电区的电子密度，从而提高了电子对工作气体的电离几率和有效地利用了电子的能量，提高等离子体浓度，提高溅射效率。在普通的等离子体中，离子密度是0.0001%，而在磁控系统中，离子密度可达0.03%。纯度高：由于磁场的存在，可以在更低的腔室压力下，一般为10-5～10-7Torr时，也能形成等离子体；速率高：二次电子在磁场作用下，运动路径不仅很长，而且被束缚在靠靶表面的等离子区，在该区中电离出大量的氩离子用来轰击靶材，实现磁控溅射速率高的特性；基片温升较低：使电子只能在其能量耗尽时才淀积在基板上.  基本原理及其优点：晶界控制－原子的势垒贯穿V(r) r E U0 a 0 图2.4晶界势垒 a r rc 薄膜快速循环纳米晶化量子动力学模型 晶化过程原子通过隧道效应进入晶相空位设势垒宽度： ■RRTA晶化属非均匀相变, 经历成核、生长的过程。 ■.晶粒大小与软磁性能－Herzer模型 单轴各向异性对称性的传统材料(D＞Lo)和纳米晶材料(DLo)的磁晶各向异性能的变化 Herzer 无规各向异性示意图 Hc~D6 , ?i~D -6 当 D Lex * Shiraishi课题组 * Agate：玛瑙：石英的一种，含Fe等元素，烧制后可变成红玛瑙 * 2002年，U. Gosele * 电弧：两极间产生强烈而持久的气体放电现象—叫电弧。 * 热峰机制？ * 自偏压：？ 5. 溶胶－凝胶法 溶胶的制备 溶胶-凝胶转化 凝胶干燥 先沉淀后解凝 控制沉淀过程直接获得溶胶 迫使胶粒间相互靠近 控制电解质浓度 加热蒸发 焙烧等 溶胶－凝胶法就是用含高化学活性组分的化合物作前驱体，在液相下将这些原料均匀混合，并进行水解、缩合化学反应，在溶液中形成稳定的透明溶胶体系，溶胶经陈化胶粒间缓慢聚合，形成三维空间网络结构的凝胶，凝胶网络间充满了失去流动性的溶剂，形成凝胶。凝胶经过干燥、烧结固化制备出分子乃至纳米亚结构的材料。 Key Words: 水解，缩合，聚合，干燥，纳米 Sol-gel典型的软化学法 溶胶－凝胶法的化学过程首先是将原料分散在溶剂中，然后经过水解反应生成活性单体，活性单体进行聚合，开始成为溶胶，进而生成具有一定空间结构的凝胶，经过干燥和热处理制备出纳米粒子和所需要材料。 溶胶—凝胶法的优缺点如下： (i)化学均匀性好：由于溶胶凝胶过程中，溶胶由溶液制得，故胶粒内及胶粒间化学成分完全一致。 (ii)高纯度：粉料(特别是多组份粉料)制备过程中无需机械混合。 (iii)颗粒细：胶粒尺寸小于0.1um。 (iv)该法可容纳不溶性组分或不沉淀组分。不溶性颗粒均匀地分散在含不产生沉淀的组分的溶液，经胶凝化。不溶性组分可自然地固定在凝胶体系中。不溶性组分颗粒越细，体系化学均匀性越好。 (v)烘干后的球形凝胶颗粒自身烧结温度低。 (vi) 制备设备非常简单，可制作大面积薄膜； (vii)凝胶干燥时收缩大,易产生微裂纹，致密性不太好。 6. 水热和溶剂热法 在较高温度和较高压力下溶液中的化学合成。 水热法最初是为了模拟地矿生成条件。 水热法被广泛用于分子筛合成，晶体生长等。近年来被广泛用于纳米材料的制备。 1996年，中科大钱逸泰院士率先开展溶剂热合成纳米材料的研究。 常规下难溶解的物质，溶剂热条件下能够溶解，经溶解再结晶过程就可生成纳米材料。 溶剂处于近临界，临界或者是超临界状态 水热法是在特制的密闭反应容器里，采用水溶液作为反应介质，对反应容器加热，创造一个高温（ 100～1000℃）、高压（ 1～100 MPa ）的反应环境，使通常难溶或不溶的物质溶解并重结晶。 水热法 1、水热氧化： mM + nH2O ? MmOn + H2 2、水热沉淀： KF + MnCl2 ? KMnF2 3、水热合成： FeTiO3 + KOH ? K2O.nTiO2 4、水热还原： MexOy + yH2 ? xMe + yH2O 5、水热分解： ZrSiO4 + NaOH ? ZrO2 + Na2SiO3 6、水热结晶： Al(OH)3 ? Al2O3.H2O 类型： Key Words: 水溶液，高温高压，溶解，结晶 其最大优点是不需高温烧结即可直接得到结晶粉末，省去了研磨及由此带来的杂质。得到的纳米颗粒纯度高、晶粒发育程度好。 反应物活性提高，可制备除固相反应难以制备出的材料； 中间态、介稳态以及特殊相易于生成，能合成介稳态或者其它特殊凝聚态的化合物、新化合物。 低温、溶液条件，有利于生长缺陷少、取向好、完美的晶体，并且产物晶体的粒度可控。 易实现均匀掺杂，可制备均匀掺杂的纳米复合物晶体。 优点： 简易反