《摩擦副对不含氢GLC薄膜摩擦学性能的影响本科毕业论文》.docVIP

摩擦副对不含氢GLC薄膜摩擦学性能的影响 摘 要 本文通过非平衡磁控溅射沉积离子镀膜的方法制备了GLC薄膜，在旋转式球-盘摩擦磨损试验机上考察了对偶材料对GLC薄膜的摩擦性能的影响。在摩擦完毕后，采用扫描电镜对磨痕形貌进行了观察，使用非接触式三维表面轮廓仪测量了磨痕深度和宽度并对磨损率进行了计算分析。研究结果表明： 1、固定载荷,随着速度的增大，GLC/GCr15体系的摩擦系数逐渐减小，比磨损率由小变大后又变小；GLC/Si3N4、GLC/Al2O3体系的摩擦系数则逐渐增大，比磨损率则大体上呈增大趋势。 2、固定速度，随着载荷的增大，三个体系的摩擦系数均不断下降，GLC/GCr15体系的比磨损率大体上呈下降趋势；GLC/Si3N4、GLC/Al2O3体系的比磨损率则不断增大。 关键词：GLC薄膜，速度，载荷，摩擦，磨损 EFFECT OF COUNTERPART MATERIALS ON TRIBOLOGICAL PROPERTIES OF H-FREE GLC FILMS ABSTRACT H-free GLC films were prepared by using an unbalanced magnetron sputtering deposition method. Effects of counterpart m