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* Physics of Semiconductor Devices * Physics of Semiconductor Devices 结型场效应晶体管 金属-半导体效应晶体管 5.1 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 1、JFET的基本结构与工作过程 2、理想JFET的I-V特性 3、MESFET的基本结构与工作过程 4、JFET和MESFET的类型 5、异质结MESFET和HEMT Outline Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 结型场效应晶体管又称为PN结场效应晶体管。JFET基本上是一个电压控制的电阻,利用一个PN结作为栅极去控制电阻,从而实现对两个欧姆结之间的电流控制。其特点是只有多数载流子承担电流的输运,这种器件是单极器件。 一 JFET的基本结构与工作过程 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 重掺杂P+层作为衬底。在 P+衬底上外延生长轻掺杂的N型层。上边的重掺杂P+层是通过向N型外延层中扩散硼形成的。器件的有源区夹在两个P+层之间的N型层;有源层也称为导电沟道。上下两个P+区不是被内连接就是被外连接以形成栅极端。连接在沟道两端的欧姆接触分别称为源极端和漏极端,通过它们流过沟道电流。源极发射载流子,漏端收集载流子。 1、基本结构 ① 标准平面外延-扩散工艺 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 标准平面外延-扩散工艺JFET Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 该技术通过扩散形成沟道和上栅。由于沟道掺入的是施主杂质,沟道电流由电子传输,这种器件称为N沟道JFET。若沟道是受主原子掺杂而栅区为N+型,则沟道电流是由空穴传输,这种器件称为P沟道JFET。由于电子的迁移率比空穴的高,N沟道JFET能提供更高的电导和更高的速度,因而,在大多数应用中处于优先地位。 ② 双扩散工艺 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 双扩散工艺JFET Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2、工作过程 在x=0处,栅PN结两边的电压为零,在x=L处,整个电压VD都加在PN结上。当电流从漏极沿沟道流向源极时,由于沟道电阻的存在,会在整个沟道产生电位降。使得在漏端空间电荷区向沟道内扩展得更深些。 (忽略接触电阻和体电阻) PN结反偏 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 当电压VD增加时,沟道得狭口变得更窄,沟道电阻进一步增大。随着漏端电压得增加,将会在x=L处的空间电荷区连通,且在连通区域内的自由载流子全部耗尽,即发生沟道夹断。 沟道夹断 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 沟道夹断时的漏电压称为饱和漏电压VDS。夹断以后再继续增加漏电压,夹断点将向源端移动,但由于夹断点电位保持为V
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