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半导体电子制冷原理 半导体电子制冷原理 半导体制冷技术的应用和发展 马乔矢 摘　要　系统地阐述半导体制冷技术的发展历史和现状，介绍它在工业上的主要应用，指出半导体制冷技术的发展趋势. 关键词　半导体制冷;热电材料;珀尔帖效应;热电偶 中图法分类号　TP 211.51 Application and development of semiconductor refrigerant technique Ma Qiaoshi (Dept.of Auto Control,Shenyang Arch.and Civ.Eng.Inst.,Shenyang,110015，China) Abstract　This paper summarizes the development history and present situation of semiconductor refrigerating,introduces the application in industry.and its development direction. Keywords　semiconductor refrigerating;pyroelectric materials;Peltier effect;thermo-electric couplers 　　半导体制冷也称热电制冷，是从50年代发展起来的一门介于制冷技术和半导体技术边缘的学科，它利用特种半导体材料构成的P-N结，形成热电偶对，产生珀尔帖效应，即通过直流电制冷的一种新型制冷方式.与传统的制冷技术相比，它的优点在于：(1)结构简单，无噪音、无磨损、无污染、可靠性高；(2)制冷速度快，控制灵活；(3)热电堆可以任意排布、大小形状可变.由于上述优点，现在国内外都在大力推广这项技术〔1，3〕.本文介绍和评介了近几年半导体制冷技术发展现状，供从事和对半导体制冷技术有兴趣的读者参考. 　　从半导体制冷的发展历史来看，大致经历了三个阶段.第一个阶段是指本世纪初，塞克尔和珀尔帖先后发现温差电流现象和温度反常现象，并进行了热电发电和热电制冷的研究.但当时由于使用的金属材料的热电性能较差，能量转换的效率很低，热电效应没有得到实质应用.第二阶段是50年代初期，主要是通过半导体材料的广泛应用，发现半导体材料具有良好的热电性能，并使热电效应的效率大大提高，从而使热电发电和热电制冷进入工程实践.第三阶段是80年代以后，主要是努力提高半导体的热电制冷的性能，进一步开发热电制冷的应用领域〔4〕. 1　半导体制冷技术的应用 　　利用半导体材料的热电特性，就能制成一个温度变化范围为-50～80℃，工作容积可大可小，并能实现温度逐点控制的制冷器.尽管它效率较低，能耗大，但是在制冷量小于小于20 W以下、温差不超过50℃时，半导体制冷的效率高于压缩式制冷的效率.因此，在需要外型尺寸小、重量轻、无磨损、无噪音、能精确维护和平稳调节温度工况和制冷量，防止制冷剂污染空气等各种领域都得到广泛的应用. 1.1　在电子技术上的应用 　　在最近20年来，低温电子学得到迅速的发展，在光电倍增管、红外探测器、光敏器件、功率器件等元器件和设备冷却上，半导体制冷有独特的作用.采用半导体制冷技术，对电子线路中的元件进行冷却，能有效改善其参数的稳定性，或使信噪比得到改善，从而提高放大和测量装置的灵敏度和准确度.热电制冷器也可以用不同方式来冷却电子器件和设备.它既可把电子元器件直接装在制冷器的冷端，直接得到冷却，又可以电子设备放在有半导体制冷的小室里，通过小室内的空气的自然对流得到间接冷却. 1.1.1　光电倍增管用半导体制冷器 　　在原子物理学、天文学等领域，广泛使用光电倍增管，但其暗电流、噪音、灵敏度主要取决于光电阴极的温度.一种锑－铯阴极光电倍增管，当其阴极温度在0℃时暗电流降低3倍，温度降到－30℃时暗电流降低了30倍，采用两级热电制冷器制冷的光电倍增管，就能够满足降低其暗电流的需求〔1，5，6〕. 1.1.2　红外探测器用半导体制冷器 　　红外线探测器在低温工作时，噪音显著降低，灵敏度和探测率大大提高，硫化铅、硒化铅红外线探测器在-10℃时的响应比+20℃大几倍，在-78℃其探测率可提高一个数量级.由于红外探测器要求冷却到零下几十度，热负载很小，只需几十毫瓦，用一至两对半导体电偶制成的单级热电制冷器即可获得明显的效果〔2，7〕. 1.2　在工业上的应用 　　从70年代，我国对半导体制冷技术在工业上应用开始进行探索，并先后基本完成了电子冷冻车削、电子冷冻铣削、电子冷冻磨削、电子冷冻铸造、液膜冰液等研究课题.用液膜冰固定工件代替夹具，用电子冷冻新技术代替传统的液氨等制冷介质，通过电源变换实现快速装卸工件和恒温控制，使过去一些无法加工的材料，特别是航天材料(橡胶