第4章第1节Auger电子能谱AES.pptVIP

Auger电子能谱(AES)Auger Electron spectroscopy AES ?? Auger效应 1925年P.Auger已经在Welson云室内观察到Auger电子径迹，并正确地解释了这种电子的来源。 尽管当时人们已经认识到它可以成为一种成分分析的手段，但直到六十年代中期，随着金属的超高真空系统和高效的微弱信号电子检测系统的发展，才出现了可以用于表面分析的实用Auger电子能谱仪。 AES ?? Auger效应 随着科学技术的不断发展，使Auger电子能谱仪的性能不断改进，并出现了扫描Auger电子显微术(SAM), 成为微区分析的有力工具。 电子计算机的引入，使Auger电子能谱仪的功能更趋完善。目前， Auger电子能谱已成为许多科学领域和工业应用中的最重要的表面分析手段之一。 AES ?? Auger效应 Auger效应 AES ?? Auger效应 如果终态空位之一(跃迁电子) 与初态空位处于同一主壳层，即WiXpYq (pq)，则称为Coster-Kronig跃迁或C-K跃迁。 C-K跃迁是一种快过程，根据测不准关系?E??t?h可知C-K过程中的?E比较大，因此，表现在能谱上是一个比较宽的Auger峰。 若两个终态空位都与初态空位处于同一主壳层， 即WiXpYq 型跃迁(pi，qi)，称为超C-K跃迁。 AES ?