真空材料放性能测试方法及测量系统的研究.docVIP

毕业设计（论文）综述设计（论文）题目 真空材料放气性能测试方法及测量系统的研究学院名称 机械与汽车工程学院专 业 （班 级）机械设计制造及其自动化姓 名 （学 号）邵士奎 指 导 教 师陈长琦系（教研室）负责人干蜀毅真空材料放气性能测试方法及测量系统研究论文综述 研究意义材料放气率是评价材料尤其是真空材料的一个重要性能指标，其性能水平直接影响着设备的可靠性和寿命。任何固体材料在大气环境下都能溶解、吸附一些气体。当材料置于真空中时就因解溶、解吸而放气。对于真空材料的放气特性，国内外一直从事着相关的研究工作，主要着重于材料放气率测试方法的改进和如何提高其测量精度。 1963年斯奇诺蒙主张用两个相同的容器，一个装有试样而另外一个是空置的，两个容器用相同的流导和同一抽气系统相连接，采用冷却挡板插板阀阻止油的返流，利用对称的结构，由两个容器的压力差来计算试样的放气率[2]，其目的是为了扣除系统本底的影响，如图1所示斯奇诺蒙指出，由于两个容器解吸不同，两个流导也有小的差别，两个电离计的灵敏度的差别更大，在空载时测定系统的本底，用于对放气率测量值的修正他采用1 L/s的流导和1000 cm2的试样面积测定多种金属玻璃和合成橡胶的放气率，其数值与目前的测量值较为接近 1995 年德国葛利克大学研制了小孔流导法(Orifice throughput method)材料放气率