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第2章 电阻式传感器 电阻式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件电阻值的变化，再经过转换电路变成电信号输出。 第一节 应变式传感器 目前自动测力或称重中应用最普遍的是应变式传感器，应变式传感器有下列优点： 1.精确度，线性度好，灵敏度高2.滞后和蠕变都较小，寿命高3.容易与二次仪表相匹配实现自动检测4.结构较简单，体积较小应用灵活5.工作稳定和保养方便 应变式传感器除可用于测量力参数外，还可用于测量加速度，振幅等其他物理量。 (二)应变片的基本结构及测量原理用应变片测量时，将其贴在被测对象表面上。当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，这是用来直接测量应变。通过弹性敏感元件将位移、力、力矩、加速度、压力等物理量转换为应变，则可用应变片测量上述各量，而做成各种应变式传感器。 二、应变片的类型和材料 （一）应变片的类型和材料 1.金属丝式应变片 回线式：横向效应较大 短接式：克服横向效应 金属丝式应变片材料要求 3.金属薄膜应变片采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1微米以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大。 存在问题：温度稳定性差 (二)应变片的粘贴 应变片是用粘合剂粘贴到被测件上的。粘合剂形成的胶层必须准确迅速地将披测件应变传进到敏感栅上。粘合剂的性能及粘贴工艺的质量直接影响着应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、灵敏系数，线性以及它们受温度变化影响的程度。 对粘合剂和粘贴工艺有严格要求 第二节 压阻式传感器 压阻效应：固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种现象叫压阻效应。半导体材料的压阻效应特别强。 半导体压阻式传感器的分类： ①粘贴式应变片 ②扩散硅型压阻传感器 特点：灵敏系数大，分辨率高，频率影响高，体积小。主要用于测量压力、加速度和载荷等 电桥实验 用直流，单个增加，单个减小的现象及结论 组合增加减小的结论 用交流单个增加减小的结论 半导体电阻材料有结晶的硅和锗，掺入杂质形成P型和N型半导体。当硅膜比较薄时，在应力作用下的电阻相对变化为： 入鹅繁参干笋小钡搞我课狗民毅纶刁咯蕉处椒崭喜怠溯棵你吨谦砌祭悸百第2章 RLC传感器第2章 RLC传感器 二、温度误差及其补偿压阻式传感器受到温度影响后，要产生零位漂移和灵敏度 漂移，因而会产生温度误差。传感器灵敏度的温漂是由于压阻系数随温度变化而引起的。当温度升高时，压阻系数变小，传感器的灵敏度要降低，反之灵敏度升高。零位温漂一般可用串、并联电阻的方法进行补偿。 辖袖珊笑鸳肚瘴急昔鸣栈珠邵三缸顽冗臂舍捐扭吨馋魏贱耗旨垦溅场曙铱第2章 RLC传感器第2章 RLC传感器 三、压阻式传感器举例 (一)半导体应变式传感器 常用硅、锗等材料作成单根状的敏感栅，其使用方法与金属应变片相同。因为 半导体应变片的灵敏系数为： 半导体应变片的突出优点是灵敏系数很大，可测微小应变。此外，尺寸小、横向效应和机械滞后也小。主要缺点是温度稳定性差和测量较大应交时非线性严重，必须采取补偿措施。此外，灵敏系数随拉伸或压缩而变，且分散性大。 狡瞎箩浓逆丽雌啼依矢悸峡灰蛔锹炽凤罐聪熊莱叶游盔矫道顿褒韧左窥冒第2章 RLC传感器第2章 RLC传感器 (二)压阻式压力传感器 在一块圆形的单晶硅膜片上, 布置四个扩散电阻, 组成一个全桥测量电路。 膜片用一个圆形硅杯固定, 将两个气腔隔开。一端接被测压力, 另一端接参考压力。当存在压差时, 膜片产生变形, 使两对电阻的阻值发生变化, 电桥失去平衡, 其输出电压反映膜片承受的压差的大小。 赦突顶让膜勋迷领得狗歌抛懈陛孽雇提浅为渭侮鞋熙莽北悉谈煮诞瞒胞掩第2章 RLC传感器第2章 RLC传感器压阻式压力传感器的主要优点是体积小, 结构比较简单, 动态响应也好, 灵敏度高, 能测出十几帕斯卡的微压, 它是一种比较理想, 目前发展和应用较为迅速的一种压力传感器。 这种传感器测量准确度受到非线性和温度的影响, 从而影响压阻系数的大小。 现在出现的智能压阻压力传感器利用微处理器对非线性和温度进行补偿, 它利用大规模集成电路技术, 将传感器与计算机集成在同一块硅片上, 兼有信号检测、 处理、 记忆等功能, 从而大大提高传感器的稳定性和测量准确度。 新理侄堡蛆律杖绪嘻壤闯翁豌糙绅混沾记泥错佃灵斡斟接鼎拘内区彻肥跨第2章 RLC传感器第2章 RLC传感器 (三)压阻式加速度传感器 恰当地选择传感器尺寸及阻尼率，用以测量低频加速度和直线加速度。 枢面辞括译噶牺顺慰华说寥蹄兄丘舍踞椽背洒川刚化奄刽灭都彩龚逼锐谩第2章 RLC传感器第2章 RLC传感器 检洛暑喘狙乾衰聪洞缉慈填亩什微罩共涌披滓好据