实验1扫描隧道显微镜课题.doc

STM扫描隧道显微镜 13应用物理一班 张光义 2013326690023 【概述】 1982年，IBM公司苏黎世实验室的G. Binnig和H. Rohrer发明了世界上第一台扫描隧道显微镜（简称STM）。利用STM，人类有史以来第一次在实空间观察到了原子的晶格结构图像，为此，其研制者在1986年获得诺贝尔物理学奖。在STM的基础上，后来又发展出原子力显微镜（AFM），光子扫描隧道显微镜（PSTM），扫描近场光学显微镜（SNOM），静电力显微镜（EFM），磁力显微镜（MFM），扫描离子电导显微镜(SICM)等仪器技术，形成一个扫描探针显微镜（SPM）家族。STM和AFM等仪器的问世（图1），为人类认识超微观世界的奥秘提供了有力的观察和研究工具，已经在物理学、高分子化学、材料科学、光电子学、生命科学和微电子技术等领域中得到广泛应用。 【实验原理】 隧道电流 STM的工作原理基于微探针（针尖）与样品之间的隧道效应及隧道电流。当一根十分尖锐的针尖在纵向充分逼近施加了一定偏压的样品表面至数纳米甚至更小间距S时，针尖尖端的原子与样品表面原子之间将产生隧道电流It。根据量子力学的隧道效应理论，It与间距S之间存在负指数关系，探测隧道电流It的大小，即可检测出间距S的大小，当针尖在横向扫描样品时，即可获得根据隧道电流的变化而获得样品表面的三维微纳米形貌（图2）。 隧道针尖 隧道针尖的结构是扫描隧道显微技术要解决的主要问题之一。针尖的大小、形状和化学同一性不仅影响着扫描隧道显微镜图象的分辨率和图象的形状，而且也影响着测定的电子态。 针尖的宏观结构应使得针尖具有高的弯曲共振频率，从而可以减少相位滞后，提高采集速度。如果针尖的尖端只有一个稳定的原子而不是有多重针尖，那么隧道电流就会很稳定，而且能够获得原子级分辨的图象。针尖的化学纯度高，就不会涉及系列势垒。例如，针尖表面若有氧化层，则其电阻可能会高于隧道间隙的阻值，从而导致针尖和样品间产生隧道电流之前，二者就发生碰撞。 制备针尖的材料主要有金属钨丝、铂- 铱合金丝等。钨针尖的制备常用电化学腐蚀法。而铂- 铱合金针尖则多用机械成型法，一般 直接用剪刀剪切 而成。不论哪一种针尖，其表面往往覆盖着一层氧化层，或吸附一定的杂质，这经常是造成隧道电流不稳、噪音大和扫描隧道显微镜图象的不可预期性的原因。因此，每次实验前，都要对针尖进行处理，一般用化学法清洗，去除表面的氧化层及杂质，保证针尖具有良好的导电性。 仪器简介 STM—IIa型扫描隧道显微镜由STM探头系统（主体）、前置放大器、偏压电源、低压与高压控制机箱、高压电源、A/DD/A控制接口和计算机系统等部分组成（图3）。 STM探头系统由探针、样品及样品台、XYZ扫描与反馈控制器、偏压引线、隧道电流屏蔽引线、扫描与反馈控制信号引线、USB显微镜、粗调旋钮、细调旋钮、底座等部分组成（图4）。 前置放大器将从探针引出的隧道电流转换成电压信号（放大倍数108V/A），偏压电源通过屏蔽引线向样品施加偏压。 控制机箱包括PID反馈控制电路、XY扫描控制电路、多路高压放大电路、数字显示电路、低压电源等。高压电源输出+350V的直流电压，提供给高压放大电路，驱动压电陶瓷的扫描与反馈运动。计算机系统及控制接口包括高速多通道A/D、高速多通道D/A、USB光学显微成像接口、STM扫描与成像软件等。STM—IIa型扫描隧道显微镜仪器的实物照片如图5所示（未拍摄进电脑部分）。 仪器操作 （一）控制机箱及仪器各部分的联接 STM—IIa的控制机箱面板如图6所示。 电源开关 ─ ON开启，OFF关闭。 选通开关 ─ “进给”对应于样品进给及恒流模式，“扫描”对应于扫描及等高模式。 出厂设置为“扫描”。 扫描量程 ─ “大”对应最大扫描范围4000nm(4000nm，此时须采用大范围的扫描软件， “小”对应最大扫描范围40nm(40nm，此时须采用小范围的扫描软件。出 厂设置为“大”。 隧道电流信号 ─ 数字表头监控显示当前的隧道电流大小，单位nA；参考电流旋钮，用 于调节参考电流及隧道电流的大小（0.5nA~1.5nA）。参考电流旋钮出厂 设置为顺时针旋转到底，对应参考电流1.5nA左右。 Z向反馈信号 ─ 数字表头显示Z轴压电陶瓷上的负反馈电压的大小，单位V。灵敏度旋 钮用于调节反馈灵敏度。顺时针调节时反馈灵敏度增大，逆时针调节时 反馈灵敏度减小。灵敏度旋钮出厂设置为顺时针1~2圈。 （二）探针和样品的安装 1．探针的安装。STM的微探针的安装方法与同类仪器完全相同。探针的安装，待仪器送达时作简单的现场培训即可。