精密与超精密加工技术..pptVIP

* 热流动加工（火焰，高频，热射线，激光） 压铸，挤压，喷射，浇注 微离子流动加工 热表面流动 粘滞性流动 摩擦流动 变形加工(流动加工) 化学镀，气相镀（电镀，电铸） 氧化，氮化（阳极氧化） （真空）蒸镀，晶体增长，分子束外延 烧结，掺杂，渗碳，（侵镀，熔化镀） 溅射沉积，离子沉积（离子镀） 离子溅射注入加工 化学(电化学)附着 化学(电化学)结合 热附着 扩散(熔化)结合 物理结合 注入 结合加工(附着加工) 车削，铣削，钻削，磨削 蚀刻，化学抛光，机械化学抛光 电解加工，电解抛光 电子束加工，激光加工，热射线加工 扩散去除加工，熔化去除加工 离子束溅射去除加工，等离子体加工 机械去除 化学分解 电解 蒸发 扩散与熔化 溅射 分离加工(去除加工) 加工方法 加工机理 微细与超微细加工机理与加工方法 * ◆主要采用铣、钻和车三种形式，可加工平面、内腔、孔和外圆表面。 ◆刀具：多用单晶金刚石车刀、铣刀（右图）。铣刀的回转半径（可小到5μm）靠刀尖相对于回转轴线的偏移来得到。当刀具回转时，刀具的切削刃形成一个圆锥形的切削面。 微细机械加工 单晶金刚石铣刀刀头形状 * 微小位移机构 ，微量移动应可小至几十个纳米 。 高灵敏的伺服进给系统。要求低摩擦的传动系统和导轨支承系统，以及高跟踪精度的伺服系统。 高的定位精度和重复定位精度，高平稳性的进给运动。 低热变形结构设计。 刀具的稳固夹