薄膜真空技术..pptVIP

罗茨泵：压缩比大，抽速大，103 L/s, 可抽到10-5 torr，低压下还有较高的抽速，高压强下, 泵排气会产生很大热量, 引起转子膨胀, 损坏泵体,所以需要前级泵, 都是通过气体的膨胀与压缩，排气 转子之间一般有微米量级的间隙，但不直接接触，不需要油润滑和密封 实际上是应用分子泵的动量转移原理与油封机械泵的变容积原理制成。 启动快，振动小，在很宽的压强范围内具有大的抽速。 其它样式的罗茨泵 * 工作温度在20K的泵可以达到10-10 Torr 10K, 除H2/He/Ne的所有气体饱和蒸气压均低于10-22Torr 20K~80K, P(T) 10-9Torr 低温捕集：一种气体在另一种气体凝成的多孔性冷凝物上面或内部的吸附, 氩对氢的低温捕集 低温吸附：可将蒸气抽到远低于其饱和蒸气压的压强(H2/He/Ne);若单分子层覆盖很小，表面饱和蒸气压强可降低到蒸气自身的冷凝物上方饱和蒸气压的10-1 ~ 10-12倍 容器越大，越需要多个泵联合工作 * 因为扩散泵油是由分子量不同的油组成，因此使用分流圈：饱和蒸气压低的在外蒸发管中蒸发，而饱和蒸气压高的在内蒸发管中蒸发。 扩散泵仍旧是组建高真空系统最经济的泵，而且可以工作在有灰尘和反应性气体的环境下（其它泵容易损坏） * 扩散泵只排除飞入蒸汽喷流内的气体分子，因此抽气速度大致与进气口的面积成比例增加。 Pf为前级真