利用晶体生长模拟软件FEMAG进行进行晶体生长模拟的结果图.ppt

晶体生长模拟软件FEMAG模拟结果图一览 FEMAG软件概况 FEMAG软件是世界上第一款商业的材料晶体生长数值模拟软件，由比利时新鲁汶大学教授Dr.?Fran?ois?Dupret于20世纪80年代中期领导开发。 Dr.?Fran?ois?Dupret是第二届晶体生长模型国际研讨会主席、EUROTHERM相变热力学研讨会联合主席、机械工程学位委员会主席，曾担任国际晶体生长（Journal?of?Crystal?Growth）期刊主编。 FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能，可模拟的晶体生长工艺包括提拉法（柴氏法，Cz法）、泡生法（Ky法）、区熔法（FZ法）、坩埚下降法（垂直布里兹曼法，VB法）、物理气相传输法（PVT法）等，广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石等领域。ON?Semiconductor（安森美半导体）、美国Kayex、Siltronic（世创电子材料）、AXT（美国晶体技术集团）、韩国Nexolon、LG、韩国汉阳大学、Norut（挪威北方研究所）、日本SUMCO集团、Gritek（有研新材料）、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、清华大学等企业和科研机构，均是FEMAG软件的用户。 FEMAG软件产品 目前，FEMAG软件包括以下六款产品： FEMAG/CZ——FEMAG提拉法晶体生长模拟软件 FEMAG CZ/OX——FEMAG提拉/泡生法晶体生长模拟软件 FEMAG/FZ——FEMAG区熔法晶体生长模拟软件 FEMAG/DS——FEMAG三维定向凝固模拟软件 FEMAG/VB——FEMAG VB/VGF法晶体生长模拟软件 FEMAG/PVT——FEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软件 应用领域 FEMAG软件已在以下行业中得到了广泛的应用： 半导体用单晶硅生产与研发 太阳能光伏用单晶硅、多晶硅锭生产与研发 集成电路级单晶硅生产与研发 航空发动机涡轮叶片单晶高温合金生产与研发 LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生产与研发 晶体生长熔炉设计与生产 FEMAG-CZ软件 FEMAG直拉法模拟软件（FEMAG-CZ）用于模拟直拉法工艺（包括Cz, MCz, VCz,泡生法）。 FEMAG-CZ直拉法模拟软件用于新的热场设计，并研发新的方法以满足新的商业需求点，比如： 大直径晶锭生长 无缺陷硅晶锭生长 提高成品率 氧含量控制 降低碳含量 晶锭半径和沿轴向的电阻率差异减小 CCZ工艺仿真 磁场设计 蓝宝石生长工艺设计 FEMAG-CZ直拉法模拟软件 FEMAG 3D 熔体流动模拟结果 FEMAG动态模拟 直拉法晶体生长中的填隙原子和空位的动态预测 直拉法晶体硅生长中的OSF（氧化诱生层错）预测 直拉法晶体生长的三维应力分布 硅晶体直拉法生长氧含量预测 直拉法硅晶体生长硼浓度分布预测 连续提拉法（CCZ）温度预测 连续提拉法（CCZ）熔体自由表面上部的氩气流场分布 在横向磁场作用下的三维熔体流动 在横向磁场作用下的三维等温线分布 FEMAG-FZ软件 FEMAG区熔法软件（FEMAG-FZ）用于模拟区熔法生长工艺 （FZ, PFZ） FEMAG区熔法软件专注于设计新的热场，并研发新的方法以满足新的商业需求点，比如： 无缺陷晶锭生长 提高成品率 节省RD成本 FEMAG-FZ区熔法模拟软件 区熔法工艺的等温线预测 FEMAG预测区熔法生长晶体缺陷 模拟晶体转速对熔体流动的影响