国产太阳能硅单晶生长设备的应用研究.docVIP

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国产太阳能硅单晶生长设备的应用研究.txt生活,是用来经营的,而不是用来计较的。感情,是用来维系的,而不是用来考验的。爱人,是用来疼爱的,而不是用来伤害的。金钱,是用来享受的,而不是用来衡量的。谎言,是用来击破的,而不是用来装饰的。信任,是用来沉淀的,而不是用来挑战的。 本文由laoxi献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。 维普资讯 - 电 字 工 业 专 用 设 备 · 新 设 备 与 新 技术 · ■产太阳能硅单晶喳长哦畚曲应用研究 杨 润, 李留 臣 ( 西安 理工 大学 , 陕西 西 安 7 0 4 ) 10 8 摘 要 : 介绍 了 T R 7 D 一 0型单 晶炉 的设计 特点 , 在 太 阳能 光伏 电池 生产 中的应 用. 及 关键 词 : 晶炉 :单 晶硅 :太 阳能光伏 电池 单 中图分 类号 :F 0 . T 8 69 文 献标识 码 : B 文章编 号 :0 4 4 0 -2 0 )3 0 5 - 3 10 - 5 7 (0 30 - 0 3 0 Thea lc to nd r s a c ft ul rf rm o o r sa i c n pp ia i n a e e r h o hep l o n c y t lsl o e i wih o a el t s l rc l Ya gRu L i h n n n i uC e L (I NU i rt oT c nlg, in 7 0 4 hn) X nv sy f eh o y X 10 8 C ia A e i o a 太 阳 能 光 伏 电池 是 一 种 利 用 光 生 伏 特 效 应 将 等 因 数 , 求 设 备 的性 能 价 格 比较 高 , 要 有 稳 定 要 概 太 阳光 能 直接 转化 为 电能 的器 件 .太 阳能 光伏 电池 可靠 的优 良性 能 , 要保 证 成 本低 廉 . 同时设 备 的 又 中, 最重 要 的组 成部 分是 半 导体 材 料层 . 阳 能光 伏 能耗 要低 , 太 即要 求设 备 在使 用 中节 能 . 电池 的种 类很 多,目前 太 阳能 电池 占主导 市场 的是 拉 制 太 阳 能 电池 硅 单 晶 的 工 艺 条 件 与 拉 制 集 单 晶硅 电池和 多 晶硅 电池 . 晶硅 太 阳 能 电池在 实 成 电路 级 硅 单 晶的 工艺 条 件 一致 , 具体 拉 晶 工 艺 单 但 验室 里最 高 的转换 效 率 为 2 %, 规模 生 产 的单 晶 参 数有 所 区别 . 3 而 硅太 阳 能 电池 , 的 转换 效 率 为 1%一 7 多 晶 它 4 1%t 1 . 根据 拉 晶工 艺 的要 求 , 设备 应 具 有 以下 几 个 主 硅太 阳能 电池 的 实验 室 最 高转 换 效率 为 1% , 业 要 部 分 : 8 工 规模 生产 的转换 效 率为 1 %一 4 2 2 1 %t 1 .比较两 者转 换 效率 , 晶硅 太 阳能 电池 具 有 明显优 势 . 单 ( ) 空炉 室 .容 纳 石 墨 电阻加 热 系统 , 晶 1真 多 硅 料 , 温材 料 和 拉制 的单 晶硅 .要 求 真 空炉 室 的 保 冷 炉 极 限真 空度 为 3P ,在最 高 加 热温 度 1 0 a 0℃ 6 时, 正常 工作 , 不允许 出现 真空 泄漏 的情 况 . ( ) 埚旋 转与 升 降系统 .该 系统 支撑 装有 多 2 坩 目前 ,太 阳 能 电池 大 多采 用 10mm 的单 晶硅 晶硅 料 的石 英 坩 埚 , 5 使石 英 坩 埚 能 旋转 和 升 降 .工 1 工 艺 条 件 对 设 备 的 要 求 片 .国外均 采用 集 成 电路 级 的单 晶炉 生产 太 阳能 电 艺 要 求 坩 埚 旋 转速 度 5 1 / i, 坩 埚 升 降 速 度 — 5r n m 池 用 的单 晶 硅 , 因此 , 产成 本较 高 .如 表 1 示 . 00 — . m / n 并要 求 运 动 平 稳 , 允 许 出 现 低 生 所 .5 04 m mi, 不 太 阳 能光 伏 电池 主 要 是 民用 , 推 广 和普 及 与 其 生 速 爬行 现象 . 证 多 晶硅在 石 墨 电阻加 热 系统 作用 其 保 产 成本 密 切相 关 .综合 考 虑太 阳 能光 伏 电池 的成 本 下 , 匀 溶化 , 均 在拉 晶时 , 保

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