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工序介绍 操作规范 操作规范 操作规范 操作规范 碳化硅材料清洗操作规范和技巧 主要内容 第一部分：工序介绍 第四部分：操作技巧 第二部分：操作流程 第三部分：操作规范 第五部分：设备相关 第六部分：质量控制 第七部分：安全生产 工序介绍 碳化硅材料介绍 1.碳化硅材料耐高温，硬度大，但比较脆，不能碰撞。 2.碳化硅属于导电材料，不能直接接触炉丝，否则会被熔化。 3.碳化硅研磨性很强，两个碳化硅之间不能摩擦。 4.目前我们用的碳化硅材料包括碳化硅浆舟和碳化硅管。 工序介绍 工具清单 　 　 　 圆珠笔 　 试纸 　 耐酸碱手套 　 PVC手套 　 医用手套 　 净化口罩 　 型号规格 名 称 工具、器具 工序介绍 所需药品 盐酸 氢氟酸 大石英管清洗机 操作流程 碳化硅处理操作流程（一） 在净化间打开包装，检查产品是否合格. 配制1:1:4，将浆舟或碳化硅管放在清洗机内 泡1:1:4后，用去离子水浸泡，冲洗。 用氮气将浆舟吹干，放在石英管内150度烘烤 拆装 自检 酸冲洗 溢流 冲洗 用三氯乙烷工艺清洗后，记录清楚后可以使用 饱和使用 干燥 拆包装操作规范 在净化间内打开包装，检查产品型号规格是否正确，外观是否有破损（如碳化硅管）。 操作规范 酸洗操作规范 把大石英管清洗槽清洗干净，配制好1：1：4，把碳化硅浆舟放进去浸泡30-50分钟。 操作规范 酸洗操作规范 浆舟柄部口要求抬高在液面外，防止酸液进入中空部分 操作规范 去离子水溢流冲洗操作规范 酸洗完毕后,先用去离子水冲洗几次，然后再浸泡在去离子水中，每两个小时换一次水，漂洗12小时，至水呈中性 . 操作规范 PH试纸呈中性，说明冲干净 先把手套洗干净 用氮气枪吹干 干燥操作规范 把浆舟拿出来用氮气枪所有区域都吹干，然后安装在扩散炉上，推进石英管内150度烘烤4小时. 操作规范 清洗完以后把浆舟装到炉子上，准备烘浆 装完浆舟以后，装载烘浆舟的工艺，然后运行，待工艺结束以后就可以使用了。 操作规范 饱和操作规范 1. 在通入氮气6000的情况下，在 150℃以低于200mm/min 的速度进炉，或者以5 ℃/min 速度升温到 400℃； 2. 保持 30分钟，以彻底去除 产品中残留的水汽 3. 在纯氧气中继续以5 ℃/min 升温至700℃； 通入携带氯源的小氮200ml 4. 温度升到1100℃时将氯离子源的流量减少一半。 最后将温度升到 1250℃或者比最高工艺使用温度高 50℃（最少 1150℃）。 保持此温度 1 小时后关闭氯源； 设备日常 维护保养 不能用硬物 去磕碰浆舟 不能在浆舟 上拖动硅舟 碳化硅浆舟 每个月工艺 清洗一次 不能裸手 去碰浆舟 设备日常维护保养方法及注意事项 设备相关 设备使用注意事项 设备相关 使用前必须彻底的 干燥，柄部区域清 洗时不能进酸，不 能碰撞，酸一定要 冲洗干净. 使用时进舟速率一定要小于200mm/min ，最高使用温度最好小于1350度. 进桨 存放时开口一端要向下，不要在浆舟上拖动硅舟，碳化硅承受的重量不能超过它的承重力. 存放 清洗 质量要求 清洗完的浆舟上不能有印痕。 碳化硅不能有破损。 柄部中空不能有酸，要清洗干净。 质量控制 质量控制 常见质量问题的原因及解决方法 质量现象 原因分析 解决办法 表面有杂质，印痕 手套不干净，摸到浆舟 重新处理 有裂痕 进舟速率过快 严格控制进舟速度 与硬物碰撞 使用时小心 注意事项 设备安全方面： 设备安全接地，通风排毒正常。 使用中严禁磕碰。严禁与炉丝接触并通电。 人员安全方面： 工作时注意药品不要溅到人，下班后关好水、电、气。 操作时一定要带好口罩，耐酸碱手套 安全生产 谢 谢 地址:湖北省襄樊市胜利街186号 邮编:441021 电话:0710-3506288 传真:0710-3506299 Http:// E-mail: trade@