1现代传感器基础与应用-8分析.ppt

(5)谐振式敏感原理 当加速度计连接的外壳的振动频率接近器件的固有频率时，共振就会发生；也就是β＝ω/ωn→1.0。检测质量在这个频率下振幅达到峰值。对微加速度计而言，器件在这一频率提供了最灵敏的输出。这种振动测量器件在共振频率处的峰值灵敏度的优势已经在微传感器设计中被利用。 Howe[1987]发展了一个分析承受纵向力的振动梁在模态1时的固有频率的理论 y(x,t)满足 其中 是梁单位长度的质量 (6)热对流式敏感原理 向加热元件施加一定的热功率，加热元件周围形成温度场，流体流动使温度场发生变化，分别位于上下游的检测元件之间就会产生温差。 被测流体的质流量 与加热件上下游端的温度差?T之间的关系为： P:加热功率，J：热功当量 cp：被测流体的定压比热 传感器 类型 测量 范围 精度 频响 线性 度 信号处理电路 结构 工艺 技术成 熟性 压阻式 大 中 高 较好 简单电桥电路 简单 好 电容式 小 高 中 较好 高灵敏度的开关 电容或电桥电路 复杂 差 谐振式 小 高 中 较好 宽频带闭环 谐振回路 复杂 差 压电式 大 低 高 较好 电荷放大器 简单 好 隧道式 小 高 高 较差 高灵敏度电流 检测电路 复杂 差 热对流 式 大 中 低 一般 热敏电阻电桥 简单 差 各种敏感原理特点比较 各种敏感原理的优缺点 优点 缺点 静电敏感 材料简