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- 2016-12-17 发布于天津
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JEOL JSM-5410 SEM 儀器簡介
一、原理：
SEM主要構造構造如左圖所示，上方電子槍產生電子束，經過電磁透鏡組使電子束聚焦成一微小的電子束照射至試片。掃描線圈用來偏折電子束，而在試片上做二度空間的掃描。電子束與試片作用後，激發出二次電子與反射電子，經由偵測器偵測後，經過訊號處理放大後送至CRT，CRT上的亮度與對比則反應出試片表面的形貌、特徵等。
電子槍：
電子槍的目的主要為提供直徑小、亮度高而且電流穩定的電子束，最常使用的電子槍有熱游離式的鎢絲或LaB6及場發射鎢針電子槍。下圖為其特性比較表。
電磁透鏡系統：
電流通過纏繞鐵心的線圈會產生磁場，電磁透鏡即是利用此種磁場來偏折電子束，當電子束穿過電磁透鏡的情形就如同光線穿過玻璃透鏡一樣，能產生聚焦或是放大的效果。
電子偵測器：
電子偵測器有兩種，一種為閃爍計數器偵測器，常用於偵測量較低的二次電子，可將撞擊其上的電子所產生的光子經由光電管增強放大，再轉換成電子脈衝放大訊號送至CRT顯像，即所謂的二次電子影像(SEI)。另一種為固態偵測器，由矽晶半導體構成，用於偵測能量較高的反射電子。當電子打到半導體後會所引出的電子訊號，進而送至顯示器，形成反射電子影像(BEI)
電子束與試片的相互作用：
二次電子：試片受到入射電子撞擊所釋放出來的弱 鍵結電子。其能量低，由試片表面5-50 nm
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