3.2 压阻式传感器.pptVIP

3.2 压阻式传感器 3.2.1 半导体的压阻效应 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应 半导体材料的压阻效应特别强。 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。 因为半导体材料对温度很敏感，因此压阻式传感器的温度误差较大，必须要有温度补偿。 压阻效应 3.2.2 体型半导体电阻应变片 1. 结构型式及特点 2. 测量电路 1. 结构型式及特点 2. 测量电路 恒压源 恒流源 3.2.3 扩散型压阻式压力传感器 扩散型压阻式压力传感器 特点 优点: 体积小，结构比较简单，动态响应也好，灵敏度高，能测出十几帕的微压，长期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生产，成本低。 测量准确度受到非线性和温度的影响。智能压阻式压力传感器利用微处理器对非线性和温度进行补偿。 3.2.4 压阻式加速度传感器 它的悬臂梁直接用单晶硅制成，四个扩散电阻扩散在其根部两面 。 3.2.5 测量桥路及温度补偿 由于制造、温度影响等原因，电桥存在失调、零位温漂、灵敏度温度系数和非线性等问题，影响传感器的准确性。 减少与补偿误差措施1. 恒流源供电电桥2. 零点温度补偿3. 灵敏度温度补偿 1. 恒流源供电电桥 2.温度漂移及其补偿 * * 3.2.1 半导体的压阻效应 3.2.2