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掃描式探針顯微術(SPM) 組員:鄭燕宗 陳凱正 王韋蘋 目錄 掃描探針顯微術(SPM)簡介 掃描穿遂顯微術(STM) 原子力顯微術 (AFM) 橫向力顯微術(LFM) 磁力顯微術(MFM) 總結 參考資料 掃描探針顯微術(SPM)簡介 掃描探針顯微技術（SPM）具有原子級表面形狀解析度，並可檢測多種奈米級表面特性，如力學特性、磁性、電性、熱性、光特性等，許多研究學者已將掃描探針顯微技術廣為應用在奈米尺度至微米尺度的表面量測。掃描探針顯微技術（SPM）主要優點包括儀器體積小、樣品無須特殊處理，可在任何環境下進行處理等優點；其主要缺點則是掃描速度慢、資料重現率差及缺乏成份分析功能等。 掃描穿遂顯微術(STM) STM之簡介 穿遂效應 電子穿隧現象乃量子物理的重要內函之一，在古典力學中，一個處於位能較低的粒子，根本不可能躍過能量障礙到達另一邊，如下圖所示。除非粒子的動能超過Vo，才有可能。但以量子物理的觀點來看，卻有此可能性。所謂的「穿隧效應」，就是指粒子可穿過比本身總能高的能量障礙。穿隧的機率和距離有關，距離愈近，穿隧的機率愈大。當兩個電極，相距在幾個原子大小的範圍時，電子能從一極穿隧到另一極，穿隧的機率和兩極的間距成指數反比的關係。 STM之工作模式 STM之掃描模式優缺點比較 STM之應用 原子操縱術 原子力顯微鏡 (AFM) AFM