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散斑计量术 散斑形成 散斑计量术 散斑计量术 散斑计量术 激光散斑大小:我们以σt和σl分别代表散斑的横向特征尺寸和纵向特征尺寸 散斑计量术 散斑计量术 单光束散干涉: 要点: 单光束散干涉: 单光束散干涉: 2.提取散斑位移信息的逐点分析法: 单光束散干涉: 2.提取散斑位移信息的逐点分析法: 单光束散干涉: 2.提取散斑位移信息的逐点分析法: 单光束散干涉: 2.提取散斑位移信息的逐点分析法: 单光束散干涉: 2.提取散斑位移信息的逐点分析法: 单光束散干涉: 2.提取散斑位移信息的逐点分析法: 单光束散干涉: 2.提取散斑位移信息的逐点分析法: 散斑计量术 * * 激光散斑形成光路 几个术语 : 客观散斑:不通过观察系统,直接记录的散斑场 主观散斑:通过观察系统记录的散斑场 离面位移:法向位移分量 面内位移:位移在切平面内的分量 表观位移:位移的垂直于观察系统光轴之分量 视向位移:位移的沿观察系统光轴之分量 当观察系统光轴沿试件表面法线方向时,离面位移即视向位移;面内位移即表观位移。 f 符号: 主观散斑 客观散斑 在像平面: 在物平面: 在像平面: 主观散斑 横 向 σ t 纵 向 σ l 客 观 像平面 主 观 物平面 散斑大小: =合成散斑场干涉 基本方法分类 对象:平面或近于平面试件表面各点的表观(如果 成像系统的光轴沿法向即面内)位移分量分布。 检测像平面散斑的位置变化(散斑的运动)。 散斑图的记录: 记录光强分布: 单曝光 双曝光: 注意: 这里 是记录平面散斑垂直于光轴方向的位移分量,它等于物平面相应点的表观位移的M倍。 一般非常数,是 的函数。 f 观察平面的光强分布 复振幅: 光强 : 条纹方程:等间距平行直线族,零级必过衍射中心。 方向:垂直位移方向 间隔:与位移大小成反比 衍射晕光强: 由统计分析可知衍射光晕为半径r0的圆,且 由于Yang’s 条纹总是关于中心对称出现的,故必须满足 才有Yang’s 条纹在衍射光晕中出现。联系上述,位移表达式有: 从而得出单光束散斑干涉的适用范围: 记录平面散斑的表观位移必须大于像平面主观散斑的横向大小;或换言之,试件平面物点的表观位移必须大于物平面主观散斑的横向大小.。 表观位移大于散斑尺寸: 表观位移小于散斑尺寸: 假若某条亮Yang’s条纹中心线距衍射晕中心距离不大于r0,则认为该亮条纹落入衍射晕。 设有N条亮条纹落入衍射晕。 由于Yang’s 条纹总是关于中心对称出现,且总有一条(零阶)亮条纹过衍射晕中心,故N必为奇数,且 实例: * * *
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