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第三章 激光衍射测量技术 党学明 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 本章的主要内容 主要内容: 第一节 激光衍射测量原理 第二节 激光衍射测量方法 第三节 激光衍射测量的应用 内容提示: 重点: 衍射及衍射现象在测量中的应用 学习方法: 衍射测量的思维与方法 第一节 激光衍射测量原理 衍射/绕射:波能够绕过障碍物而弯曲地向它后面传播的现象，称为波的衍射现象 波: 声、光、电磁、机械波 障碍物：大小、形状对现象均有影响 现象：与波的波长、障碍物的大小、光源/观察的位置有关 第一节 激光衍射测量原理 光的波长短， 对很小的缝隙/屏才有明显的衍射现象，激光出现后， 衍射现象才实际应用到测量中： 1973年 Canada 国家研究所 T.R. Pryer 提出了激光衍射测量的方法 衍射测量的特点： 全场， 非接触， 稳定性好，自动化程度高，精度高 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 划分：按光源、障碍物/衍射物，观察屏三者之间的距离或位置划分菲涅耳衍射和夫琅和费衍射 （1）菲涅耳衍射/近场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为有 限远 （2）夫琅和费衍射/远场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为无