场发射扫描电镜技术参数（配能谱仪）.docVIP

场发射扫描电镜技术参数（配能谱仪） 本文档由【中文word文档库】提供，转载分发敬请保留本信息； 中文word文档库免费提供海量范文、教育、学习、政策、报告和经济类word文档。 1 运行环境 1. 1房间温度：15 ~ 25℃ 1. 2相对湿度：小于60% 1. 3适用电源：单相，220V±10%，50/60Hz，4kVA，要求连续供电 1. 4地线：电阻小于Ω 2设备用途 微细结构材料的形貌及尺寸观察、组成的定性测量。生物样品、环境样品、催化剂、吸附剂、陶瓷材料、金属材料、合金材料等的形貌观察、微区分析和组成定性测量。 3 技术规格 3. 1 组成：主机（包括真空系统、电子光学系统、检测器），自动变压器，冷却循环水系统，能谱仪，计算机，标准工具及附件。 *3. 2 分辨率：1.0nm （15kV）1.3nm （1kV，减速模式） 3. 3 加速电压：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步 *3. 4 放大倍率： (20 to (800, 000 3. 5电子光学系统 *电子枪：冷场发射电子枪 最大电子束流度：不低于2nA 透镜系统：3级电磁式 透镜工作多种模式：高分辨、大束流强度、磁性样品工作模式、样品低损伤模式 *物镜光阑： 4孔可调式（直径30、50、50、100μm）内置加热自清洁装置 *3. 6 样品室和样品台： 样品台驱动：3轴马达驱动 移动范