超微量的分析之污染控制.docVIP

超微量元素分析之污染控制 郭季華 行政院環境保護署環境檢驗所 摘 要 背景當量濃度（Background equivalent concentration, BEC）是以當量濃度表示之背景訊號，並提供一種良好量化”雜訊”的方法，其已經廣泛應用於半導體業及超純化學工業之分析，且認為是評估ICP-MS系統效能較為精確之指標。BEC的來源最主要來自空氣污染、試劑污染及實驗器皿的污染及人員污染，本研究針對這四大污染來源進行探討，瞭解其對待測物之影響範圍及影響程度。 關鍵字：BEC、感應耦合電漿質譜儀、超微量分析、重金屬 一、前言 感應耦合電漿質譜儀（ICP-MS）為超微量元素分析常用之檢測儀器，此技術可提供實驗室一相對簡單及具成本效益之方法，來定量濃度低至ppt 甚至sub-ppt 等級之元素。 然而對許多元素，欲達到如此低濃度之定量會有許多障礙，例如微量的背景”雜訊”（noise）即會造成影響。對於”雜訊”的度量，背景當量濃度（Background equivalent concentration, BEC）是一種有用的方式。簡而言之，BEC是以當量濃度表示之背景訊號，並提供一種良好量化”雜訊”的方法，其已經廣泛應用於半導體業及超純化學工業之分析，且認為是評估ICP-MS系統效能較為精確之指標1。 在檢測時，背景雜訊會影響到偵測極限（Limit of detection, LOD