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Basics of Quantitative Analysis 材料测试分析技术 材料测试分析技术第一章 扫描电子显微镜(SEM)第一节 概述 第二节　电子束与固体样品　　　　相互作用 第三节 SEM工作原理 第四节 SEM的构造 一. 电子光学系统 组成: 电子枪, 电磁聚光镜, 光阑, 样品室等. 作用: 用来获得扫描电子束, 作为 使样品产生各种物理信号的 激发源. 用于SEM的电子枪有两种类型 热电子发射型: 普通热阴极三极电子枪 六硼化镧阴极电子枪 场发射电子枪: 冷场发射型电子枪 热场发射型电子枪 几种类型电子枪性能 二. 扫描系统 组成: 扫描信号发生器、放大控制器等 电子学线路和相应的扫描线圈。 作用: 提供入射电子束在样品表面上以 及阴极射线管电子束在荧光屏上 的同步扫描信号; 改变入射电子 束在样品表面扫描振幅，以获得 所需放大倍数的扫描像。 三. 信号检测放大系统 作用：检测样品在入射电子束作