ATLASBarrelSCTmoduleの位置精度および平面度测定讲述.ppt

* 新間 秀一, 加藤 陽一, 秋元 崇, 原 和彦（筑波） 中野 逸夫, 田中 礼三郎（岡山） 高嶋 隆一（京都教育） 海野 義信, 高力 孝, 近藤 敬比古, 寺田 進, 池上 陽一, 氏家 宣彦（高エ研） 岩田 洋世, 大杉 節（広島） ATLAS Barrel SCT module の位置精度および平面度測定 アトラスシリコン　Ⅱ 1. 測定目的　ー 何故, 位置精度および平面度が必要か？ ー 2. 測定装置 3. 測定方法 4. 位置精度を記述するパラメータ 5. 位置精度結果 6. 平面度を記述するパラメータ 7. 平面度結果 8. まとめ 1. 目的 (何故, 位置測定や平面度測定が必要か？） 位置測定, 平面度測定はモジュールQA (Quality Assurance)の一つであり, モジュール組み立ての精度要求を満たすかチェックする . モジュールQAの流れ 当座は‥‥　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １）モジュール組立の精度の測定 ２）QAサイクル中の変動量の測定 組立 温度サイクル バーンイン 測定 測定 測定 1. 目的（つづき） 位置精度‥ 荷電粒子の飛跡の再構成の精度はシリコン 　センサーの位置分解能（23 um）により決まる. 　　　　 この位置分解能を生かすために, 表裏センサーペアの位置 精度が, z方向に25 um,