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光学薄膜技术
Optical thin films and technology;第一章:薄膜光学特性计算基础
第一节 电磁波及其传播
第二节 单一界面的反射和透射率
第三节 单层介质薄膜的反射和透射
第四节 多层介质薄膜的特性计算
第五节 金属薄膜的光学特性
第六节 光学零件的反射率和透射率;干涉理论回顾; 1、薄膜干涉原理 :层状物质的平行界面对光的多次反射和折射,导致同频率光波的多光束干涉叠加。
2、薄膜干涉现象:
⑴ 单色光产生中央条纹(光斑)占据130°以
上空间,看不到同一波长的相邻条纹;
⑵看不到白光条纹,但可以看到:
①不同方向有不同的干涉色;
②同一方向在波长域有不连续的带状条纹。
; 直接利用平行平板的分振幅多光束反射,只能计算只有两个界面的平板介质的反射和透射光强分布。;;;波动方程:;(1)对于不导电的均匀媒质:;因 ,故(8)式可写为;3.光学导纳(optical admittance);引入中间变量: ;4.边界条件;4.边界条件;E、H、k0 之间的右旋法则
电磁场的边界条件
在两种介质的分界面上没有面电荷和面电流的情况下,电磁场量H和E的切向分量是连续的。;垂直入射 由切向分量连续:;对于TE波,即S偏振波入射时,E与界面平行;对于TM波,即P偏振波入射时,H与界面平行;S 偏振;其中,计算 和 时,公式中的 应代入 ;
计算 和 时,公式中的 应代入 。
显然,引入修正导纳的好处是菲涅耳公式的形式简化易记了。;2 单一界面的反射率和透射率;; 3 等效界面思想;第三节 单层薄膜的反射和透射 ;1. 单层介质膜与基底组合的等效导纳;
a. 在每一界面运用Maxwell边值关系,将界面两侧的场联系起来;
b. 利用膜层位相厚度,将每一膜层上下两界面内侧的场联系起来;
c. 将所有界面所得关系式联立迭代,得到入射介质与出射介质中电磁场的关系式。
d. 以入射介质中的电磁场为桥梁,建立等效介质的等效导纳与被等效真实膜系参数之间的关系。;单层薄膜界面两侧的电磁场
注意:图中箭头的方???是与电场相对应的光的传播方向.即 的方向。;具体做法:; ⑵、在界面2两侧电磁场之间的关系方程式为:
⑶、在界面1、2 内侧,同一时刻,不同纵坐标、相同横坐标的两点的场强之间的关系是:
其中:
-薄膜的位相厚度。
注意:
薄膜的有效光学厚度,
薄膜的实际光学厚度,
薄膜的几何厚度。;;令:;强调说明:
① 是膜层与基底组
合的特征矩阵。
② 是膜层的特征矩阵。
③ 中使用的是N 1 ,不是η1。
无论是S偏振还是P偏振,其位相厚度、光学厚度都是相同的;
δ1是波长的函数,不同的波长对应不同的δ1
④ Y是膜层与基底组合的等效光学导纳,随波长急剧变化强烈色散。;1).由等效导纳计算的单层薄膜的反射率
;2).由干涉叠加得到的单层薄膜的反射率
将
代入上式,并注意到
解得:;小结论:;(1).
即:位相厚度相差为π的整数倍的同一材料的单层介质膜,对同一波长有相同的反射率。
由于光学厚度与位相厚度之间存在关系
“位相厚度相差为π的整数倍”的膜层的“光学厚度相差为λ/2的整数倍”,
因此,光学厚度相差为λ/2的整数倍的同一材料的单层介质膜,对同一波长有相同的反射率。 ;(2)膜层反射率的极值.
即:当膜层有效光学厚度为λ/4的整数倍时,膜层反射率为极值.
①当m是奇数时,
②当m是偶数时,
即,镀有光学厚度为λ
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