材料表征方法第三章-X射线光电子能谱讲述.ppt

前 言 电子能谱学概论 电子能谱学的范畴 电子能谱学（Electron Energy Spectroscopy）是最近三十年发展起来的一门综合性学科。 它是研究原子，分子和固体材料的有力工具。 电子能谱学的定义 电子能谱学可以定义为利用具有一定能量的粒子（光子，电子，粒子）轰击特定的样品，研究从样品中释放出来的电子或离子的能量分布和空间分布，从而了解样品的基本特征的方法。 入射粒子与样品中的原子发生相互作用，经历各种能量转递的物理效应，最后释放出的电子和粒子具有样品中原子的特征信息。 通过对这些信息的解析，可以获得样品中原子的各种信息如含量，化学价态等。 电子能谱学的物理基础 电子能谱学的发展基础是物理学。电子能谱学的基本原理均来源于物理学的重大发现和重要的物理效应。 如：光电子能谱的建立的基础是Einstain的光电效应，俄歇电子能谱的基础是俄歇电子的发现。 由此可见，物理学是电子能谱学的发展基础，但电子能谱学的应用不仅仅局限于物理学，在化学，材料以及电子等学科方面具有重要的应用前景。 电子能谱学的发展基础（1） 电子能谱学发展的最重要的基础是物理学。物理理论和效应的发展和建立是电子能谱学的理论基础。如爱因斯坦的光电效应理论，实际上就是光电子能谱的基本理论。在该理论中指明了光子能量与发射电子能量的关系。 此外，由于由样品表面发射的电子或离子的信号非常微弱，一般在10-1