氧化铪在半导体器件中的应用和发展课件.pptVIP

一、 绪论 信息技术的高速发展和广泛应用改变了传统的生产、经营、管理和生活方式，对人类社会各方面都带来了深刻的影响。目前美国、日本等发达国家信息产业的产值已经超过传统的机械制造业而成为国家的第一大产业。 对于我国，国家信息化测评中心2002 年3 月 19 日公布的研究报告指出，近10 年来，我国信息产业年均增长速度超过32％，高于同期全部工业年均增长速度近18 个百分点，是40 个工业行业中发展最快的。2001 年，信息产业的销售收入已经突破 12000 亿元人民币大关，占全国工业的比重为 8％，已经成为中国工业第一支柱产业。我们国家已经拉开了信息社会的序幕。 微电子产业的核心是CMOS 集成电路， 其发展水平通常标志着整个微电子技术工业的发展水平。集成电路的发展一直遵循着1965 年Intel 公司创始人之一 G. E. Moore (G. E.摩尔) 预言的集成电路产业发展规律。集成电路产业经历了小规模（SSI）、中规模（MSI）、大规模（LSI）、超大规模（VLSI）、特大规模（ULSI）的发展历程。IC 芯片的特征尺寸（晶体管沟道长度，也是集成电路上金属层的最小分辨尺寸，即金属线宽，所以这个特征尺度也称之为线宽）已经从1978 年的 10 μm发展到现在的 0.13 μm，集成度从 1971 年的 1 K