电子显微分析-5课件.pptVIP

试样在电子束作用下产生特征x射线，具有元素固有的能量和波长，将他们展开成谱线后，根据其能量或波长就可以确定元素的种类，根据谱线的强度就可以确定其含量。 有两种展谱方法： x射线能量色散谱法，相应的仪器叫x射线能量色散谱仪，简称能谱仪（EDS: Energy Dispersive X-ray Spectrometer） x射线波长色散谱法，相应的仪器叫x射线波长色散谱仪，简称波谱仪（WDS: Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer)） 能谱仪 能谱仪的关键部件是锂漂移硅固体探测器，习惯上记作Si(Li)探测器， 实际上是一个Si二极管探测器，用热扩散的方法将锂漂移进去补偿杂质，以便吸收需要检测的能量范围的x射线。从偏压供给的负电压给p层，n层则与FET前置放大器相连接。在没有x射线进入时，没有电流通过探测器，它的工作像一个反偏压的二极管。整个探测器组件保持在真空中、使其接近液氮温度，以减小热引起的噪声（现在已有不用冷却的EDS探测器）。当一个x射线光子进入本征区，从Si原子中逐出一个电子，并把多余的能量交给此电子，为光电子。这个光电子又将其能量转移给晶体，形成电子—空穴对。 对硅晶体来说，平均每产生一对电子—空穴对约吸收3.8eV的x射线能量。因此