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测试信号 离子 光子 二次电子 俄歇电子 X射线 光电子?? 合金钢基体成分的波谱定点分析结果 （分光晶体：LiF） 坦克发动机活塞环CrN薄膜涂层面扫描图 应用范围 1.冶金学 （1）测定合金中的相成分 （2）测定夹杂物 （3）测定元素偏析 （4）研究扩散 （5）测定相分布或元素分布 （6）研究相平衡图 （7）研究氧化和腐蚀现象 2.地质学 3.其他领域(半导体、生物、医学) 作 业 习题2. 分析比较用能谱仪(WDS)和波谱仪(EDS)进行成分分析的优缺点。 习题4. 要分析钢中碳化物成分和基体中碳含量，应选用哪种电子探针仪？为什么？ 图14-11 ZnO-Bi2O3陶瓷烧结表面的面分布成分分析 (a)形貌像 (b)Bi元素的X射线面分布 面分析 图14-11 Ni/CNT镀层表面的面分布成分分析 (a) 形貌像 (b) Ni元素 (c) O元素 (d) C元素 (c) (d) (a) (b) N元素面分布 Cr元素面分布 定量分析 K y＝ Iy / Iy0 Iy Iy0 ： 纯Y元素的X射线强度 ：试样中Y元素的X射线强度 试样中Y元素的质量分数: Wy＝ZAFKy Z: 原子序数修正项 A: 吸收修正项 F: 二次荧光修正项 电子探针作微区分析时： 所激发的作用体积大小 10 μm3 如果分析物质的密度为 10 g/cm3 则分析区的重量为 10-10 g 若探针仪的灵敏度为万分之一， 则分析绝对重量可达 10-14 g 因此电子探针是一种微区分析仪器。 * 第三篇 成分和价键分析 分析探测源及测试信号 Sample Excitation source Signal Detector 探测源 离子束 电子束 光子束 电子探针显微分析 EPMA 特征X射线 特征X射线 样 品 入射电子 Auger电子 背散射电子 二次电子 透射电子 吸收电子 电子探针 图1-5 标识X射线的产生 电子探针 功能：微区成分分析 原理：细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线谱。 波长：微区所含元素的种类（定性分析） 强度：微区所含元素的多少（定性分析） 电子探针仪的结构 1mv 10v 电子探针中X射线记录和显示装置方框图 图14-2 分光晶体 一、波长分散谱仪 （WDS） 2dsin L1、R已知， 求 d、 已知 求 直进式波谱仪 常用的分光晶体 常用晶体 衍射晶面 2d/nm 适用波长/nm LiF (200) 0.40267 0.08~0.38 SiO2 (1011) 0.66862 0.11~0.63 PET (020) 0.874 0.14~0.83 RAP (001) 2.6121 0.2 ~1.83 KAP (1010) 2.663 0.45~2.54 TAP (1010) 2.59 0.61~1.83 硬脂酸铅 -- 10.08 1.7 ~ 9.4 回转式波谱仪示意图 图14-6 某合金钢定点的波谱分析谱线图 图14-7 锂漂移硅能谱仪方框图 二、能量分散谱仪 （EDS） 11.17 25.38 CrK 08.38 17.55 TiK 13.81 16.28 AlK 66.64 40.79 N K At% Wt% Element CrTiAlN实际样品成分分析 表14-2 误认和峰为某种元素特征能峰的例子 元素 Kα /KeV Kα十Kα /keV 可能被误认为元素 Ni Si V Cr Ni Ni 1.49 1.74 4.95 5.41 7.48 8.05 2.98 3.48 9.90 10.83 14.96 16.10 Au La(2.98),Th Ma(2.99) Sn La (3.44) Ge Ka (9.90),HgLa(9.99) Bi La (10.84
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