薄膜太阳能电池研发性项目建议书-PW.docVIP

薄膜太阳能电池研发性项目建议书 项目安排 王鹏 首先，项目拟建规模要视预期情况，本建议以a-si + μ-si试验研发样板线为例。 闵行研发实验厂房现在要做的是：辅助的外围设施的搭建和规划工作，其具体工作有以下几个方面： 环氧地坪，循环水，强电（柜），压缩空气机组，空调无尘间，特气间包括（氮气）和其他管道以及气体源处，设备端气路柜。 其中这些工作要做要大概一个技术团队（大概要10人左右）和部分安装工人（15人） 环氧地坪肯定要请专业的地坪供应商做，要做3层，一般从预期开始调研大概要1周时间，真正定下来后，以我们的实验性厂房（近1000平方）大概也要一周时间，大概预期规化的资金要分两种：一种是普通的（60-70元每平），另一种是防静电的（大概要120元以上每平）在部分关键场地是必须做防静电的，例如PECVD系统车间等核心的车间，这个时间段我们只要负责监工（2个人就好），不需要大量的人力，物力，只要严格把关，要求供用商有合格的资质证书和检验报告。 循环水，整个非晶硅系统对水质，压力的要求比较高(入水，回水设计，压力要求根据设备而定)。当然以后也要有专门的工程师负责这方面。水质一般是经过杂质的严格控制。压力小于2.5×105Pa一般是具有（纯水）循环冷却水，水温小于25℃，流量要求达到12升/分钟，及回水通道设计，都要满足实验的要求。具体的去离子水质要求是:电阻值﹥2MΩ,部分设备可以使用一般软水水质。 强电进入车间的容量大小300KW一般就可以了，功能主要是产线上各设备系统加热，泵组，尾气处理等大功率用电，其中对设备用线的用线选型，位置的安排（根据设备而定）这一部分也要专门的工程师（两个）负责。前期规划要以PECVD为中心搭建各种备用接口。还有备用机动电源，保证在急停电情况，无闪断的切换，保证PECVD机组的正常工作，这部分以我们技术人员为主，配给几个电工（5人），就没有太大问题，所有的设备供电大概要15工作日。 压缩空气机组，空调无尘间可以一起进行。 压缩空气在非晶硅要求也很高，一般的气动阀门和动力元件多数要无油的压缩空气，要不污染很严重的，压力为3-5个大气压，压缩空气的湿度，温度都要控制，压缩无油螺杆式机组和管道要专业的公司做，以便以后的机组维护，在进行人员的安排方面，我们公司要配合几个工人做配合就好，为了以后的维护做准备，空调无尘间洁净度要十万级的就好，不要太高，但也要专业的公司来做，这块不需要专业太高人来维护。时间上20天就可以完成。 特气间的设计要求很高，防爆的设计，管道的布局，危险的气体报警，换特气瓶的职业操守，及环境的要求，它是属于非常重要的外围设施，必须有专门的技术人员负责，设计阶段要起码3个设备工程师，2个工艺师，施工阶段，有要专门的技术人员负责，其中在气路有个别的截止阀，手动阀用进口件比较可靠，所以必须有技术人员专门指导安装，因为它的可靠性要求特别高。要求有普通氮气，压强要在2～3个大气压之间 材料齐全情况下施工的时间起码一个月才能完成。 操作人员：戴口罩、手套和穿洁净服 非晶硅微晶硅薄膜太阳能电池要大量的准备工作， （注意：租赁的厂房对其施工，可能要开发区政府的审批，手续很多，时间的限制，所以公司要有专门的公关人员，希望时间不要浪费在施工的审批上） 闵行研发实验厂房具体要做的实验性设备装备规划工作 其具体工作有以下几个方面：我本人可能从事以下设计工作。 由于没有设计用软件，现在先做个技术方案。 1.PECVD系统设备总体设计技术方案（6个月） 真空腔体容积（圆腔体48片）粗算大于8m3，腔室要做到尽量小，温度均匀性要严格控制，腔内尽量简单，减少干扰； 铠装加热方式：温度： 250℃，要求室温-----400℃连续可调； CVD反应室极限真空：约为1.0×10-5Pa， 气压自动控制，控制压力的蝶阀和薄膜计采用美国MKS公司产品，量程分别为2Torr和10Torr； VHF电源48片（5WM每年计算）（满足从10MHz～100MHZ连续可调，进口件）12台用于沉积室；RF电源12台（13.56MHz）。 真空室各种接口连接形式：反应室大接口采用无氧铜垫圈或银丝金属镶嵌密封，小接口采用无氧铜垫圈密封，双开门采用氟橡胶圈密封（或用铂金属片和石棉密封），以保证真空度的要求，避免杂质污染； 真空腔体采用方型结构（可选择圆形）， 真空室组件及配备零部件全部采用304不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面喷玻璃丸处理。 反应室采用银丝等金属或氟橡胶圈密封。 反应室内置平行平板型等离子体发生装置的电极工件箱， 真空性能，极限真空： CVD反应室的极限真空优于1.0×10-4Pa；真空漏率小于1.0x10-6pa.m3/s。 排气性能：CVD反应室开始抽气30分钟后，真空度优于1.0×10-4 Pa。 静态压升性能：CVD反应室升