第六章 表面分析技术.doc

第六章 表面分析技术 表/界面在化学、物理学以及材料科学等领域的研究意义已经十分明确，所谓界面是指被研究体系中存在的某种特性随空间距离发生突变的区域，这种突变性包括密度、晶体结构以及化学组成等，表面是界面的一种特例，即界面的一侧为空间，也就是说表面是物质本体和空间之间的过渡区域，它在一般意义上包含了物体最外层的数层原子和一些外来的原子或分子，涉及从埃到几个纳米的空间范围。固体表面的性质有其特殊性，因为在表面的一侧不存在原子，导致表面两侧不具有对称性，所以往往表面原子的排列结构和其本体不同，同样表面区的化学组成、电子结构和运动等也都和本体表现出显著的差异，从而导致表面的电荷分布不均，形成表面偶极层，这种表面偶极层对粒子在表面的运动、外来原子（分子）和表面的键合以及外来粒子和表面的电子互作用等都会产生重要的影响。人们对表/界面研究产生浓厚兴趣的原因正是因为发现了物体的某些性质其实并非完全决定于其本体的性质，而是在很大程度上取决于表面的性质。譬如当前作为材料研究热点的纳米材料，之所以具有巨大的诱惑力，就是因为在纳米尺度上表面所展现的性质占据了主要部分，可以获得较本体材料更为显著的性能，所以对表面开展研究是现代科学技术中一个十分重要的领域。表面分析的基本原理都可以看作是由一次束（电子束、离子束、光子束等）辐照于固体样品使之产生二次束（电子、离子、X射线等），通过对含有样品信息的二次束的检测，实现对样品的分析。由于样品本身的吸收作用，在样品深处产生的二次粒子不能射出固体表面，只有在表面或表面浅层的“表层”样品中产生的粒子才可能被检测到，因此这类分析方法都称为表面分析方法。图6-1表明了表面分析的基本技术特征，在表面分析技术领域已经较为广泛采用的一次束的类型可由说明。 图6-1 表面分析示意图 表6-1所列为常用一次束、二次束类型及可以获得的分析信号，目前最为常见的表面分析方法包括X光电子能谱法（X-Ray photoelectron spectroscopy，XPS, 或称Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA）、紫外光电子能谱法（Ultraviolet photoelectron spectroscopy, UPS）、俄歇电子能谱法（Auger Electron spectroscopy, AES）、二次离子质谱法（Secondary Ion Mass spectrometry, SIMS）、离子散射光谱（Ion Scattering Spectrometry，ISS）、激光微探针质谱法（Laser Microprobe Mass spectrometry, LMMS）以及电子探针（Electron Microprobe, EM）等。 表6-1 常表面分析技术 分析方法 一次束 二次束 获得信息 紫外光电子能谱（UPS） 紫外光 电子 化合物成分、结构 X光电子能谱（XPS） X光 电子 化合物成分、结构 俄歇电子能谱（AES） 电子 电子 化学组成 电子能量损失谱（EELS） 电子 电子 化学结构、结合吸附物 电子微探针（EM） 电子 X光 化学成分 二次离子质谱（SIMS） 离子 离子 化合物成分、结构 离子散射光谱（ISS） 离子 离子 化学组成、原子结构 激光微探针质谱（LMMS） 光子 离子 化合物成分、结构 表面等离子体共振（SPR） 光子 光子 化学结构、表面薄膜浓度 偏振光椭圆率测量 光子 光子 薄膜厚度 §6.1 电子能谱分析 电子能谱分析是多种技术的一个总称，其共同点是采用激发源（单色光源，如X射线、紫外光，或粒子，如高能量的电子、离子、原子等）去冲击样品，使样品中电子受到激发、电离并逸出物体表面而发射出来，然后测量这些电子的产额（强度）对其能量的分布，从中获得样品的有关信息。电子能谱与光谱在检测对象上明显不同，它探测的不是被样品激发后出射的电磁波，而是被入射能量从样品中击出的电子的能量分布、强度分布和空间分布等信息。电子能谱主要包括X光电子能谱（XPS）、紫外光电子能谱（UPS）及俄歇电子能谱（AES）等。几种能谱技术的主要区别在于激发源及发射电子能量分布所对应的信息，就形成发射电子的激发源而言，紫外光电子能谱和X光电子能谱都使用光子作为一次束，故又都属于光电子能谱。能量关系见图6- 图6-2 光电过程的能量关系 电子能谱所探测的信号深度主要决定于所产生电子的非弹性碰撞平均自由程（(），它和电子能量相关（见图6-3），电子运动超过(距离后，发生非弹性碰撞而改变能量，失去原携带的信息，对具有E=10eV~2keV的电子，其(的范围约在0.4~2nm之间。 图6-3 电子能谱探测深度和电子能量的关系 §6.1.1 X光电