xps与aes(x射线光电子能谱与俄歇电子能谱).ppt

电子能谱是多种表面分析技术集合的总称。电子能谱是通过分析各种冲击粒子与原子、分子或固体间碰撞后所发射出的电子的能量来测定原子或分子中电子结合能的分析技术。 电子能谱主要包括： X射线光电子能谱（XPS）{电子结合能、元素原子价态、表面原子 组分、杂质原子能带结构} 俄歇电子能谱（AES）{表面元素分析、结合能元素的原子价态、结合态} 真空紫外光电子能谱(UPS){电子结合能、电子结构} 电子能量损失谱(EELS) {表面结构分析} 用X射线做激发源去轰击样品，使原子或分子的内层电子受激发射出来，并直接测量二次电子的能量，这种能量表现为二次电子的结合能Eb , Eb随元素而不同，并且有较高的分辨力，它不仅可以得到原子的第一电离能，而且可以得到从价电子到K壳层的各级电子电离能，有助于了解离子的几何构型和轨道成键特征，是目前表面分析中使用最广的谱仪之一。 　其主要应用： 1，元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以为的所有元素。 　　2，元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。 　　3，固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。 　　4，化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。 　　5，分子生物学中的应用。利用XPS鉴定维生素B12中的少量的Co。 定性分析谱图 1．图a中除了 Al 谱线外， O和 C两条谱线的存在表明金属铝的表面已被部分氧化并受有机物的污染。 2．图b，主峰分别对应纯金属铝的 2s和2p 轨道电子，相邻的肩峰则分别对应于氧化铝 中铝的 2s和2p 轨道电子。 3．谱图的纵坐标是光电子的强度，通常以单位时间内接收到的光电子数表示。在相同激发源及谱仪接收条件下，可以用每个谱峰所属面积的大小作表面元素的定量分析。 4．此外，图谱还显示出 的 俄歇谱线、铝的价带谱和等离子激元等伴峰结构。这些伴峰常与样品的电子结构密切相关。在分析 谱图时，特别要注意把伴峰与主峰的化学位移峰区别开来以避免相互混淆，导致错误的结论。 XPS定量分析的关键是要把所观测到的信号强度转变成元素的含量，即将谱峰面积转变成相应元素的含量。利用特定元素谱线强度作参考标准，测得其它元素相对谱线强度，求得各元素的相对含量。 1. 在定量分析中必须注意是XPS给出的相对含量，与谱仪的状况有关，与所选择的元素多少有关。 2.因为不仅各元素的灵敏度因子是不同的，XPS谱仪对不同能量的光电子的传输效率也是不同的，并随谱仪受污染程度而改变。 3. XPS仅提供表面3～5 nm厚的表面信息，其组成不能反映体相成分。样品表面的C, O污染以及吸附物的存在也会大大影响其定量分析的可靠性 4.由于灵敏度因子与元素的化学状态有关，因此其定量结果也会产生较大的差异。 在PZT薄膜表面，C 1s的结 合能为285.0 eV和280.8eV 分别对应于有机碳和金属碳 化物。有机碳成分，可能是 由表面污染所产生的。随着 溅射深度的增加，有机碳的 信号减弱，而金属碳化物的 峰增强。这结果说明在PZT薄 膜内部的碳主要以金属碳化 物存在。 Xps分析注意点： 1.鉴于光电子的强度不仅与原子的浓度有关，还与光电子的平均自由程、样品的表面光洁度，元素所处的化学状态，X射线源强度以及仪器的状态有关。因此，XPS技术一般不能给出所分析元素的绝对含量，仅能提供各元素的相对含量。 2.由于元素的灵敏度因子不仅与元素种类有关，还与元素在物质中的存在状态，仪器的状态有一定的关系，因此不经校准测得的相对含量也会存在很大的误差。 3.XPS是一种表面灵敏的分析方法，具有很高的表面检测灵敏度，可以达到10-3原子单层，但对于体相检测灵敏度仅为0.1%左右。 4. XPS是一种表面灵敏的分析技术，其表面采样深度为2.0～5.0 nm，它提供的仅是表面上的元素含量，与体相成分会有很大的差别。 5. 它的采样深度与材料性质、光电子的能量有关，也同样品表面和分析器的角度有关。 俄歇电子：当X射线或电子束激发出原子内层电子后，在原子的内层轨道上产生一个空穴，形成了激发态正离子。在这激发态离子的退激发过程中，外层轨道的电子可以向该空穴跃迁并释放出能量，而这种释放出的能量又激发了同一轨道层或更外层轨道的电子被电离，并逃离样品表面，这种出射电子就是俄歇电子。