天合光能公司硅片工程部线锯SOP操作规程（DOC 43页).docxVIP

MB DS264/4线锯操作规程天合光能硅片工程部概述多线切割原理:将不同直径的高强度镀铜钢线缠绕在主轴上，钢线携带砂浆以一定速度和晶棒摩擦，这就是所谓多线切割。DS264是一种能够快速精确地加工尺寸达到毫米工件，且加工损耗极小的线切割机。特别适合于要求在一个作业循环内将硬脆材料切割成大量薄片的切割加工，在全自动切割过程中保证了刀缝损失最小、切割精度高且表面质量好，通过大批量的生产，可以将加工成本降至最低。DS264线切割机应用了如下的高精度、高效率和电脑控制技术。电脑控制切割钢线的进线和回线，以及切割钢线往复行走方式，实现高线速进给，最高达15米/秒。采用工件下降（下切）方式，实现了高精度的进给，提高了切片精度和切片效率。采用了工件上升方式，工件切片后的自动抽线非常顺利圆滑。具有切割钢线异常检测（接地检测）和断线检测功能。砂浆温度自动控制和流量检测功能，管理、监视、控制砂浆的温度、流量和密度。切割钢线张力采用伺服控制，在进线和回线两边分别设有张力检测器，如遇钢线断线时，在数秒内自动停车。线切割机的精度对切片的质量有直接的影响，为了能生产高质量的硅片，线切割机上所有的机械定位和电气参数必须调整在生产厂家规定的精度范围之内，有些参数不要乱修改，否则会造成危险的后果。操作者同样对硅片的质量有很大的影响，当操作者对该工艺具有了完全的理解和充分的注意之后，就能达到我们所期望的质量要求。第一