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等离子体及其他清洗技术 ??? 一、等离子体清洗作用??????? 1．等离子体?????? 等离子体是1927年在低压水银蒸气在高压电场中放电实验中发现的。? ? 在电场中保持低压状态的氧气、氮气、甲烷、水蒸气等气体分子，在辉光放电的情况下，可以分解出加速运动的电子和解离成带有正、负电荷的原子和分子。另外，低压气体中存在的少量电子，在电场中被加速时获得高能量并与周围的分子或原子发生碰撞，结果使分子和原子中激发出电子，而本身又处于激发状态或离子状态。把以这种形式存在的物质状态叫等离子体。?????? 在等离子体中存在下列物质：被加速而处于高速运动状态的电子；处于激发状态的中性原子、分子；离子化的原子、分子；解离反应过程生成的紫外线；未反应的原子和分子。??? 等离子体状态中，在电场中加速运动的电子和离子具有很大的动能，能提供激发氧气和四氟化碳(CF4)组成的体系活化所需要的能量。另外，等离子体中含有紫外线和其他光能量，都可以被表面处理工艺加以利用。例如，将塑料表面进行等离子体处理，可以改善和提高它，们的印刷性能，这种工艺早已在实践中得到应用。现在半导体中用等离子体处理，促进薄膜形成、结晶成长、离子加工、表面分析，已形成丰富多彩的工艺应用。??? 等离子体利用的是在0.13～13.3Pa的低真空条件下生成的离子，与在1.33X10-3～?1. 33X10-5Pa高真