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- 2016-12-24 发布于重庆
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第一章 电子显微镜
第一节 概述
一、电子显微镜的发展简史
1、20世纪30年代,E.Ruska 在电子光学理论发展的基础上发明了世界上第一台投射式电子显微镜(transmission electron microscope,TEM)放大倍数仅为12倍;1935年电子显微镜基本定型;1939年德国西门子公司生产了世界上第一批作为商品的投射式电子显微镜,分辨率优于10nm,放大倍数达到了10万倍。自此,投射式电子显微镜的研究重点是改进设计,提高仪器分辨率。
2、1935年法国knoll首先提出了扫描电子显微镜(scanning electron microscope, SEM)的设计思想和工作原理,1942年剑桥大学D.M.Mullan首次制成了世界上第一台反射扫描电子显微镜。1965年基本定型;70年代已发展成为性能完善、自动化程度高,功能齐全的一种电子光学仪器。
二、电子显微镜与光学显微镜的比较
光学显微镜的光学系统一般采用可见光作为光源,玻璃透镜作为成像、放大透镜。其成像过程是:可见光通过空气和玻璃透镜这两种不同的物质界面时,光的运动速度改变,从而改变运动方向使之汇聚一点(焦点),然后再发散,这样就可以把物体的细节加以放大成像,使人们观察到物体的显微结构。
电子显微镜采用电子束作为照明系统中的光源,电磁透镜作为成像、放大透镜,其基本成像过程是:电子束通过电子磁透镜时,由于电磁
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