外差干涉仪光路调节方法及对拍频的理解.docVIP

外差干涉仪光路调节方法及对拍频的理解 　　摘要： 外差激光干涉仪由于测量精度高，环境适应能力强和实时动态高速测量等特点而广泛应用于机床误差的实时监测中。外差激光干涉仪中，使用平面镜作为转向装置时，接收器上的两束光有可能只是相交而不是重合，这给光路的调节增加了很大的难度。针对这一问题，提出一种辅助光路调节方法，先将光路切换到单频干涉仪，调好光路，再切换到外差干涉仪，利用单频干涉条纹的直观性能可看出外差干涉仪光路调节的好坏。理论分析和实验结果表明，提出的调节方案具有可行性，效果良好，同时通过从单频切换到双频能更深入地理解拍频。 　　关键词： 测量； 干涉仪； 光路调节； 干涉条纹 　　中图分类号： TN247 文献标志码： A doi： 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.03.012 　　文章编号： 1005-5630（2016）03-0252-04 　　Abstract： The heterodyne interferometer is widely used in real-time measurement of errors for machine tools due to its high accuracy，high adaptability to environment and real-time dynamic measureme