表面工程(修订2011-2).pptVIP

第二章 表面工程技术理论基础 序 2.1表面晶体学基础 2.2表面能与表面张力 2.3表面力 2.4表面吸附与偏析 2.5固体表面的吸附理论 2.6固体表面的润湿 2.7表面动力学 2.8表面电子学 2.1表面晶体学基础 2.1.1理想表面结构 2.1.2清洁表面结构 2.1.3实际表面结构 2.1.4典型固体表面和界面 2.1.5几种重要材料的表面晶体结构 表面 表面：一种凝聚态物质与另外的物质或者真空之间的过渡区域，一般由一个或者几个原子层组成（0.5~10nm）. 对于晶体，表面所包括的所有原子层不具备体相晶体结构的三维周期性。 教材图2－1 表面分为理想表面、洁净表面、清洁表面、实际表面等。 固体表面： 固气界面：实际上由凝聚态物质靠近气体或真空的一个或几个原子层（0.5～10nm）组成，是凝聚态对气体或真空的一种过渡区域。 固液界面：是一种凝聚态物质向另一种凝聚态物质的过渡区域。 表面所包括的所有原子层不具备体相的三维周期性，但晶面上的大部分原子的排列还是有序的，具备二维周期性。 2.1.1理想表面结构 二维晶格的周期性与对称性 晶列与晶列指数 二维倒易格子 理想表面 表面 清洁表面 实际表面 理想表面结构 理想表面：理想化的表面。 想象为无限晶体被分成两个表面，且表面上的原子位置和电子密度都和原来的一样。 获得：难！ 理想表面 定义：理论上近似地假设除了固-气界面的几何限制 外，而系统不发生任何变化的表面。 从晶态物质基础看，固体材料的理想表面就是一 种理论上认为的结构完整的二维点阵平面。二维点阵 是点在平面上按某一规则的周期排列，围绕每一个点 的环境和围绕每一个其它点的环境是相同的。 这种表面可用二维晶格结构来描述，它存在5种 布喇菲格子，9种点群和17种二维空间群。 如下图示。 表1 二维布喇菲格子 二维点阵点群及空间群 2.1.2 清洁表面结构 相对于受污染表面而言，一般地，当表面吸附物的摩尔分数在单分子覆盖层上为1%量级时，称为清洁表面。通常，必须在大约 Pa及以下的超真空室内采用高温热处理、离子轰击退火、真空解理、场效应蒸发等方法才能实现。 这种洁净表面也是很难获得的。 洁净表面结构 清洁表面：表层原子结构的周期性不同于体内，但成分和体内相同。无污染但允许有吸附物。 获得：较难！ 清洁表面结构 清洁表面：零件经过清洗（脱脂、浸蚀等）以后的表面。 获得：较容易！ 清洁表面的典型结构： 表面弛豫：点阵常数在垂直方向发生明显变化。包括正弛豫和负弛豫。 表面重构：水平方向的周期性不同与内部原子。 表面台阶结构：TLK模型（教材图2－2） T（平台，Terrace）L（台阶，Ledge）K（扭折，Kink）模型 迭层：由于其他原子进入晶体表面，而出现体内不存在的表面结构层。 表面弛豫 定义：当晶体的三维周期性在表 面处突然中断，在表面上原子的 配位情况发主了变化，并且在表 面原子附近的电荷分布也有改 变．使表面原子所处的力场与体 内原子不同，因此．表面上的原 子会发生相对位置的上下位移， 以降低体系的能量。 表面上原子的这种位移（压缩或膨胀）称为表面弛豫。 例如：镍的（100）面的体相晶面间距是0.222nm，而表面层和 下层原子面间距是0.178nm，收缩19.8%，（负弛豫）； 铝（111）面的体相晶面间距是0.233nm，而面间距是0.241nm，膨胀3.4%，（正弛豫）。 表面弛豫现象表现在晶体结构基本相同，但点阵参数略有差异，特别是在表面及其下少数几个原子层间距的变化上。 因此：表面弛豫的最明显处是表面第一层原子与第二层之间距离的变化；越深入体相，弛豫效应越弱，并且是迅速消失。 表面重构 定义：在平行基底的表面上，原子的平移对称性与体 内显著不同，原子位置做了较大幅度的调整。 特点：表面原子间距与晶体内原子间距不同 如图示： 表面水平方向原子间距as与晶体内部原子间距a0不相同，但在垂直方向的层间距ds与体内相同晶面的间距d0是相同的。 表面原子层在水平方向上的周期性不同于体内，但在垂直方向上的层间间距d0与体内相同。 最常见的表面重构有缺列型