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项 目 线 别 药 液 名 称 成 分 外 观 PH值 溶解度 1 ITO GD709碱性清洗剂 KOH、水、界面活性剂 无色液体 11 可溶于水 2 ITO Metal EC-IP100 光阻剂 酚衍生物、酚醛树脂、醋酸酯 暗红色 NA 不溶于水 3 4线通用 EZ240 光阻稀释剂 丙二醇甲醚、乙酸丙二醇单甲基醚酯 无色透明吸湿性液体 5~7 可溶于水 4 ITO Metal DEV DT200显影液 （TMAH） 氢氧化四甲基铵、水 无色液体 11 可溶于水 5 ITO 蚀刻 类王水 （ITO 蚀刻液） 硝酸、盐酸 暗褐色 ＜1 可溶于水，酒精及丙酮 6 ITO Metal 剥膜液（N300） MEA单乙醇胺、 BDG二乙二醇丁醚 无色或微黄 12 可溶于水 7 OC 显影液 大乾KD850 KOH、水、界面活性剂 微黄澄清液体 11~12 可溶于水 8 Metal 蚀刻 铝酸 （Metal 蚀刻液） 醋酸、硝酸、磷酸 透明无色液体 ＜1 可溶于水 9 TOP OC EOC 170 光阻剂 乙酸丙二醇单甲基醚酯、压克力单体、压克力树脂、光起始剂 无色液体 NA 不溶于水 2.34. 黄光制程化学用品 2.35. 黄光制程常见不良 涂布不良： 1. 涂布针孔 2.箭影 3.气泡 4.刮伤 5.脏污 6.光阻回溅… 显影不良： 1. 显影不净 2.过显