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三维立体微流控芯片制作方法研究 　　[摘要] 目的 通过对三维立体通道模具的制作进行研究，以制备能生产高效低价均一载药微液滴的三维立体微流控芯片。 方法 试验过程中对芯片模具基底材料，曝光时间、刻蚀时间对三维立体微流控芯片模具制作的影响，及聚二甲基硅氧烷（PDMS）的配方和固化温度对微流控芯片成型的影响进行了系统地研究，获得最优化工艺参数，制备出最适合于产生载药微液滴的微流控芯片。 结果 有机玻璃板综合性能最优，可作为芯片模具基底材料；刻蚀时间、曝光时间随通道厚度的增加而增长。对于层数较少的掩膜（如1、2层）最佳曝光时间为10、15 s。一般采用大于临界时间，使所需通道稍微过曝。以PDMS为材料注塑成型制备出理想的三维通道微流控芯片，并采用自动进样泵于各通道注入不同液相来高速制备尺寸可控的均一微液滴。 结论 该模具制备方法快速、价格低廉，克服了大多数三维微流控芯片模具制作工艺复杂、成本高昂等缺点，PDMS注塑成型技术操作简单，可满足快速生成粒径理想、尺寸均一化、重现性好的载药微液滴的要求。 　　[关键词] 微流控芯片；湿法刻蚀；紫外曝光；三维立体通道；载药微液滴 　　[中图分类号] Q954.6 [文献标识码] A [文章编号] 1673-7210（2013）12（a）-0098-05 　　在10～100 μm宽的沟道系统中对流体（气体或液体）进行操控的技术被称为微流控技术[1]，以微流控技术为核心、通过微电子机械系统（MEMS）技术加工出的应用于生物、化学、生物医学等领域的芯片型微全分析系统被称为微流控芯片。液滴微流控系统则是微流控芯片领域的一个新的分支，其使用不相溶的两相或三相流体在微孔道界面处形成液滴，制备的液滴单分散性好、粒径和形态可控，液滴体积通常在纳升至皮升（10-9～10-12 L）范围。自液滴微流控的概念提出以来，经过几年的发展，微流控芯片制备微液滴的技术已日趋成熟，并逐步应用于化学、生物等领域。 　　载药微液滴，相比于传统药物具有强大的优势。载药微液滴实际上是一个可控制释放系统，以生物相容性材料包裹或吸附药物形成球形微粒，可以对药物进行贮存以达到控制释放的目的，减少药物用量、降低副作用，并提高作用于靶向位点的准确性和体内血药浓度的稳定性，使得药物发挥最佳疗效。采用传统的机械搅拌法制备液滴和微球获得的乳滴或微球粒径分布较宽，形态难以控制，使得其应用大大受到限制。微流控技术研究则可制备微米级微球，且产品不需要进一步纯化，粒径非常均一、单分散性好，其突出的优势已引起越来越多科研工作者的高度关注[2]，微液滴的操控也成为国际上研究的前沿热点[3-7]。而为了能制备出粒径均一、单分散性好的乳液或微球，对芯片结构的设计也提出了新的要求。目前，芯片结构已由传统的二维发展到三维，解决了或正在尝试解决很多原来二维芯片无法解决的问题。本实验就是通过对三维立体通道模具的制作进行研究，以制备能高效低价生产均一载药微液滴的微流控芯片。 　　1 材料与方法 　　1.1 材料与设备 　　SYLGARD184-聚二甲基硅氧烷（PDMS）（Dow CORNING），飞船牌载玻片，斯乐美Phenix显微镜，101OAB电热鼓风干燥箱（天津市泰斯特仪器有限公司），SF-400C电子天平，FX925杜邦干（美国杜邦公司），LSP01-1A注射泵（保定格兰恒流泵有限公司），TD-XDC-10A Taida3D操作台，Pco.imaging（Germany），氢氧化钠。 　　1.2 实验方法 　　1.2.1 三维立体微流控芯片模具的制作 　　首先利用CAD绘图软件绘制二维平面掩膜图，并使用高分辨率激光打印机（分辨率12 000 dp）在透明胶片上打印制得光刻掩膜板，然后按照下述步骤进行微流控芯片的加工制作。 　　1.2.1.1 选取模具基质材料 作为模具基质的材料有很多，如普通玻璃板、有机玻璃板、氧化铟锡（ITO）、PDMS等，考虑到模具成型的平整度及载体表面的洁净度，选用表面覆膜的有机玻璃板。 　　1.2.1.2 利用杜邦干膜构建不同高度通道 将有机玻璃板的表层保护膜，杜邦干膜保护膜揭除，贴合，过塑，保证通道成型区域无气泡。根据所需通道高度要求贴合不同层数杜邦干膜。 　　1.2.1.3 曝光 将掩膜置于贴有杜邦干膜一侧，固定，置于紫外曝光机单一光源下曝光，得到所需通道形状。 　　1.2.1.4 刻蚀 将曝光好的芯片模具揭去表层的杜邦干膜保护膜，置于0.85%的碳酸钠溶液中刻蚀。根据所贴杜邦干膜层数不同其所需的刻蚀时间也不同。 　　1.2.2 三维立体微流控芯片制作 　　固定模具，保持通道面清洁，将配制好的PDMS液浇灌，保证0.3 cm左右厚度。抽真空除气泡，烘箱60℃烘2 h，切取所需部分，打孔，去极化，黏