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山东建筑大学毕业论文开题报告表 班级：光信062 姓名：金雪 论文题目 薄膜光波导制备及检测 一、选题背景和意义 集成光学是上世纪60年代以来发展起来的-新兴科学，主要研究光波在透明薄膜材料中的传导、调制、偏转、滤波、空间辐射、光振荡、薄膜内强场聚集引起的各种现象以及与此有关的薄膜非线性效应等。集成光学的研究内容非常丰富，但是其根本的基础是光在薄膜中的传播，即光波导。对光信号的所有处理，都必须以光在薄膜中的能够传导为前提。光波导在整个集成光学中具有十分重要的作用。 经典的光波导理论主要有两种，一种是线光学理论，这一理论以光的全反射原理为基础，即光在波导中传播时受到上下界面的全反射。光波在波导内沿z字形路径传播。据此推导出介质薄膜波导的色散方程，研究波导膜的传输性质、截止特性、传播常数等性质。这种方法简单、直观。另一种方法是电磁波理论，这一理论从Maxwell电磁波方程出发，通过求解满足一定介质边界条件的Maxwell方程，得到波导中传导模的本征解。 所有光波导的实验基础在于光波导薄膜及波导结构的制备。改进实验方法，优化实验条件是提高光波导薄膜质量的关键。脉冲激光沉积法是上世纪80年代后期发展起来的一种新的制膜方法。该方法有许多引人注目的优点。如：易于使膜与靶材的成分基本一致、生长过程中能够原位引入的气体种类较多、容易制备多层膜或异质结、工艺简单、易于控制、灵活性大等，所以，在制备各种薄膜，特别是氧化物薄膜方面具有独特的优势。 集成光路早期的基本构想首先是把光波约束在有限空间的薄膜光波导内传播；利用薄膜光波导可以构成包括光源探测器、调制器、分束器、透镜和反射镜等一系列有源和无源薄膜光波导器件；采用类似集成电路的微加工技术，将这些薄膜光波导器件集成在同一基板上，从而构成具有特定功能的光路系统。这种集成光学系统与传统的光学器件系统相比，具有体积小、质量轻、坚固紧凑、无须人工对准适宜平面工艺大批量生产和降低成本等优点。 薄膜光波导最早的研究则可追溯到1910年，由Hondros和Debye关于电介质棒的研究工作。后来的研究主要针对微波工程应用的介质薄膜光波导，直到激光问世，才真正开始了薄膜光波导的研究。在60年代中对波导理论、薄膜光波导的测量、薄膜光波导耦合方法进行了比较全面和深入的研究。在70年代开发出各种薄膜光波导器件，当时研究的薄膜光波导材料和器件比较集中于玻璃和晶体等电介质材料。由于这些材料不能构成激光器和探测器，因而开发的集成光学系统以混合集成为主。进入80年代，更多转向半导体薄膜光波导器件的研究，特别是对激光器集成化的研究，并将光电子集成和光子集成提上日程。进入90年代，为了满足实际应用的要求，光集成系统在原来的二维薄膜波导结构的基础上进一步向三维结构以及一维全光纤结构发展，并进一步演变为光电机综合系统。 二、课题关键问题及难点 薄膜光波导器件和技术日益成熟，但他也有其自身的缺陷：如制作亚波长直径的低损耗光波、制备方法的选择、光波导检测方法和技术、激光加热的能量对拉伸光纤直径均匀性很差、传输损耗大等光学性能的研究还有待提高。 微电子学、光电子学和光子学是现代光通信和光传感产业的支柱。随着器件设计理论和制备工艺的发展，以及对器件工作性能和能量消耗等要求的提高，减小器件尺寸、提高集成度，将光子器件与微电子、光电子器件在纳米尺度上混合集成已成为必然趋势，这就要求光波导线宽向亚波长和纳米尺寸发展。在过去的30年间，宽度或直径从毫米量级到微米量级的介质光波导已经在许多领域得到成功应用，例如，光通信、光传感、光功率传播系统等。波导宽度微型化使光子器件应用从中受益，但是由于对高精度的要求，故制作亚波长直径的低损耗光波导仍然是种挑战。 20世纪以后，研究者才开始了对通过激光加热融解拉伸高纯度玻璃纤维制成 的氧化硅线的光学应用的研究。当光纤直径大于1 m时，这些氧化硅光纤是支持可见光及红外光传输的多模波导，而亚微米光纤则可以支持单模传输。由于理论及实验的结果表明激光加热的能量对拉伸光纤并保证直径的均匀性来说太大了，因此拉出的光纤直径均匀性很差，传输损耗大，直径波动及表面粗糙度过大，加工成本高，制备复杂等缺点，这些缺点使得它们无法满足低损耗传输的要求。 目前所使用的光纤主要有两种，一种是传统的氧化硅光纤，一种是新型的光子晶体光纤。光子晶体光纤中心为空气孔柱或石英柱的纤芯，围绕着纤芯周期的排列着空气孔柱，使其横截面上呈现出高／低折射率的二维周期性变化，利用这种独特的结构，使光纤中产生一些全新的光传输特性。但是正是由于它的这种结构上的要求，使它各个空气孔柱或石英柱自身直径可以达到纳米级而整体尺寸无法缩至纳米级。 迄今为止，人们已经利用离子注入技术在光学晶体、玻璃、半导体以及有机聚合物等大量光