薄膜物理第4章薄膜的形核与生长综述.pptVIP

成核速率: 与成核能量和成膜参数有关的函数 4.3.2 统计或原子理论（原子聚集理论) 问题提出 热力学界面能理论的两个假设：一是认为核尺寸变化时，其形状不变；二是认为核的表面自由能和体积自由能与块体材料相同。 显然，此假设只适用于比较大的核（大于100个原子）。 理论计算：临界核的半径 实际情况：临界核的大小与成膜条件有关，基片温度低、过饱和度高时，临界核只有几个原子。 显然，热力学界面理论与实际情况有较大差别。 为了克服理论上的困难，1924年Frenkel提出了成核理论原子模型，并不断发展。 原子聚集理论的基本内容 原子聚集理论将核（原子团）看作一个大分子，用其内部原子之间的结合能或与基片表面原子之间的结合能代替热力学理论中的自由能。结合能不是连续变化而是以原子对结合能为最小单位的不连续变化。 原子聚集理论中，临界核和最小稳定核的形状与结合能的关系如图所示。 1)较低基体温度T1，临界核是吸附在基体表面上的单个原子。每一个吸附原子一旦与其他吸附原子相结合都可形成稳定的原子对形状稳定核。 2)温度大于T1之后，临界核是原子对。因为此时每个原子若只受单键的约束是不稳定的，必须具有双键才能形成稳定核。此时，最小稳定核是三原子的原子团。另一种可能是四原子的方形结构，概率小。 临界核和最小稳定核的形状与结合能的关系： 图中T